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上海市教育委员会创新基金(10YZ213)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：刘富强赵源郑玉祥盛明裕胡巧多更多>>
相关机构：上海商学院复旦大学上海第二工业大学更多>>
发文基金：上海市教育委员会创新基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体辅助
  • 1篇电子束蒸发
  • 1篇光子
  • 1篇SIO

机构

  • 1篇复旦大学
  • 1篇上海第二工业...
  • 1篇上海商学院

作者

  • 1篇陈良尧
  • 1篇胡巧多
  • 1篇盛明裕
  • 1篇郑玉祥
  • 1篇赵源
  • 1篇刘富强

传媒

  • 1篇红外与毫米波...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体辅助电子束蒸发低温制备SiO_2纳光子薄膜
2011年
SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温度和射频等离子辅助功率)的变化规律,获得了薄膜的机械、化学和光学性能优于传统方法的纳光子薄膜工艺制备条件.
盛明裕赵源刘富强胡巧多郑玉祥陈良尧
关键词：等离子体辅助电子束蒸发
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