浙江省科技厅重点资助项目(2003C21036)
- 作品数：6 被引量：37H指数：5
- 相关作者：袁巨龙赵文宏赵萍邢彤常敏更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 智能型纳米级抛光机的运动分析被引量：6
- 2003年
- 分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理 ,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等 ,且工件表面各点运动轨迹不重复 ;提出了“低速起动—无级提速—恒速加工—低速修整—低速停止”的加工运动模式 ,采用光栅测量和微机控制技术 ,将抛光盘总转数的精度控制在± 0 .5°以内 ,保证加工余量去除误差在 1nm以内 ,结合合理的加工工艺 。
- 赵萍吕冰海袁巨龙常敏赵文宏潘锋
- 关键词：平面度
- 功能陶瓷超精密加工技术被引量：12
- 2003年
- 介绍了国内外功能陶瓷超精密加工技术的研究现状及加工方法 ,阐述了超精密抛光技术的原理及影响加工质量的因素 ,指出了功能陶瓷超精密抛光技术的发展趋势。
- 赵萍范鹏飞袁巨龙吕冰海常敏
- 关键词：功能陶瓷超精密加工技术抛光技术
- 铌酸锂晶片CMP过程的工艺参数研究被引量：7
- 2003年
- 在铌酸锂晶片的化学机械抛光过程中,许多参数会在根本上影响CMP的化学和机械作用,但是把某一参数简单地归类于化学参数或机械参数都是不恰当的,文中分析了这些参数以及如何控制这些参数来影响CMP过程。
- 邢彤袁巨龙赵文宏曹志锡
- 关键词：化学机械抛光工艺参数
- 铌酸锂晶片的化学机械抛光质量研究被引量：11
- 2003年
- 采用化学机械抛光方法,在新型智能抛光机上用自制的抛光液对铌酸锂晶片进行抛光。结果证明选择适当的参数后可以得到一种超平滑表面,几乎无损伤层,且有较高的面形精度和加工效率。采用扫描探针显微镜(SPM)获得了铌酸锂晶片表面微观形貌,并测定了损伤层,分析了铌酸锂晶片的表面形成机理及其表面加工缺陷和损伤层的成因。
- 邢彤袁巨龙赵文宏曹志锡
- 关键词：铌酸锂化学机械抛光
- 化学机械抛光技术概述
- 化学机械抛光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)技术有着悠久的历史,由于这项技术可用于硅集成电路(SiIC)以及各种高性能和特殊用途的集成电路制造中,现已引起了人们广泛的研究兴趣.本文通过查...
- 常敏袁巨龙楼飞燕王志伟
- 关键词：化学机械抛光超精密加工集成电路
- 智能型纳米级超精密抛光机的研究被引量：2
- 2004年
- 研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光。文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1nm 以下,并获得表面粗糙度小于0.2nm 的平面。
- 赵萍袁巨龙
- 关键词：抛光专家数据库纳米
- 智能型纳米级抛光机的控制系统被引量：6
- 2003年
- 介绍了智能型纳米级抛光机的智能控制系统 ,对其实现方法进行了研究 ,分析了智能控制系统的组成 ,提出并建立了基于专家控制系统的解决方案。采用WindowsCE软件平台 ,图形化界面功能指示 ,以及采用高可靠性的实时操作系统、超级数模混合RISC嵌入式处理器、高精度光栅传感器、无级调速、无刷直流电动机驱动等技术 。
- 赵文宏袁巨龙吕冰海常敏邢彤赵萍
- 关键词：嵌入式处理器控制系统智能控制
