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基于交流量热法的薄膜热扩散率自动测试系统的研究被引量：4: 2005年; 设计并组建了一套基于交流量热法的薄膜热扩散率的自动测试系统,实现了薄膜热扩散率的自动化测量。该系统以PC机为主控机,利用串口与运动控制卡通信,控制压电陶瓷超声电机实现采样点的精确定位,通过GPIB总线控制锁相放大器,采集位于待测薄膜表面上的微热电偶的温度响应信号。由温度信号的幅值与采样距离的关系得到薄膜的热扩散率。讨论了该系统的软硬件组成、测试原理及功能特性,并给出了系统软件的工作界面和测试数据。; 许自强唐祯安黄正兴丁海涛; 关键词：热扩散率自动测试系统 GPIB总线

关于微尺度理论被引量：35: 2001年; 随着纳米材料、微器件、微结构和微系统研究的深入发展及其应用 ,与微尺度效应有关的理论和技术成为当前的研究热点 ,推动着微尺度理论的形成和发展。从微尺度及其判据出发 ,对微尺度理论的几个主要学科做了简要介绍 ,指出了需要解决的关键问题和研究方法。; 唐祯安王立鼎; 关键词：微尺度纳米材料纳米电子学细观力学

气体传感器阵列信号的盲分离研究被引量：1: 2006年; Responses of a Micro-hotplate based integrated gas sensor array to CO and CH4 were measured with an automated gas sensor calibration system.Combining with the blind source separation（BSS） techniques,the blind separability in gas mixture analysis was discussed.The widely used BSS approach-Independent Component Analysis（ICA） was adopted to verify the proposed method by analyzing the gas mixtures of CO and CH4.The analysis results demonstrate that BSS was an effective way to extract the information of gas components in mixtures,from which the gas concentrations can be estimated.The average relative quantification errors were 9.37% and 8.11% for CO and CH4,respectively,in the specified concentration ranges.; 魏广芬唐祯安陈正豪余隽王立鼎闫桂珍; 关键词：盲信号分离气体传感器阵列

基于CPLD的数字电路的远程实验室系统: 2005年; 开发了一个能够完成高等院校数字电路基本实验内容的远程虚拟实验宣系统。系统采用LabVIEW应用程序开发环境,利用GPIB通用总线接口.对本地仪器进行控制;采用CPLD技术开发数字实验:利用下载线在线下载程序.远程用户通过Web浏览器,登陆网站,提交编译过的程序,就可以控制实验板.完成数字实验。; 顿爱波唐祯安王开宇; 关键词：应用程序 CPLD 复杂可编程逻辑器件

均质非平衡态分子动力学模拟铜薄膜的热导率被引量：7: 2002年; 为研究微电子器件中薄膜的“超常”传热行为 ,基于等温线性响应理论 (LRT)和嵌入原子法 (EAM)势函数 ,采用均质非平衡态分子动力学方法 ,对铜薄膜的热导率进行了计算机数值模拟 ,给出了铜薄膜热导率与薄膜厚度及温度之间的关系 .模拟结果符合 Flik关于微尺度薄膜导热的判据并与其他文献的实验数据基本一致 ,表明该方法和结果可以用于微电子器件中的微尺度传热及热应力问题的分析 .; 叶杰成申爽唐祯安; 关键词：分子动力学铜薄膜热导率

一种测量Si/SiO_2界面残余应力的微结构应变计: 2002年; 借鉴工程力学中测量残余应力的盲孔法 ,给出了一种测量半导体氧化工艺中形成的硅—二氧化硅界面残余应力的微结构应变计。; 姜勇唐祯安申爽王立鼎; 关键词：二氧化硅残余应力

用于薄膜热容测量的微型量热计: 设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术。与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点。在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K...; 余隽唐祯安张凤田陈正豪王立鼎; 关键词：MEMS器件热容; 文献传递

微气体传感器的稳定性测试研究: 测试了一组微热板式气体传感器的稳定性,着重讨论了稳定性的几种描述方法,采用统计学方法对文献中常用于描述稳定性的几种特征参数进行了比较和取舍,引入了特征参数离散度来描述气体传感器的稳定性,并使用该方法比较了预加热时间对传感...; 魏广芬唐祯安陈正豪余隽王立鼎; 关键词：稳定性 SNO2 特征参数; 文献传递

微热板阵列的热测试和热分析被引量：2: 2002年; 集成的阵列式的微传感器是当今传感器发展的一个方向,例如广谱气体传感器,该种传感器需要把多个微热板集成在同一个芯片,形成微热板阵列的器件形式。由于传感器需要在特定的温度条件下工作,因此需要对微热板阵列进行热性能的评估。本文针对研制中的气体传感器的2X2的微热板阵列,用红外热成像技术进行了测试和分析,获得其微小区域的温度分布和一些工作特性,为微传感器的研制和改进提供了实验依据。; 张荣海顾毓沁朱德忠郝京阳唐祯安; 关键词：微传感器红外热成像

用于薄膜热容测量的微型量热计被引量：1: 2005年; 设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术.与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点.在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K升至400K只需约0.5ms,升温速率达2×105K/s.针对微量热计热质小、升温快等特点,引入了脉冲扫描量热法来测量薄膜的热容.测量了厚度为(430±20)nm的Al薄膜从300K到420K的热容曲线,该薄膜的热容在室温附近为9.2nJ/K.若薄膜的密度值取2700kg/m3,则该Al薄膜的比热容在室温下约为1096.8J/(kg·K),比Al体材料的比热容值900J/(kg·K)增加了约21.9%,表现出金属纳米晶体的热容增强效应.; 余隽唐祯安张凤田陈正豪王立鼎; 关键词：MEMS器件热容

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