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Cr金属薄膜温度传感器的研究: 采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。; 闫卫平朱剑波马灵芝郭吉洪; 关键词：温度传感器电阻温度系数; 文献传递

PCR生物芯片微加工技术的研究被引量：7: 2003年; 聚合酶链式反应 (PCR)在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。PCR生物芯片是利用微加工技术制作的能够实现PCR扩增反应的微装置。文中给出了基于MEMS技术的PCR生物芯片的微加工技术及加工方法 ,特别对集成在芯片上的加热器及温度传感器的微加工方法进行了重点介绍 ,并对它们的特性进行了分析比较。; 何文波闫卫平郭吉洪; 关键词：微全分析系统 PCR 微加工技术生物芯片

Numerical Simulation and Experimental Validation of Electrokinetic Injection for Integrated Capillary Electrophoresis Chip: 2006年; It is the key element in the integrated capillary electrophoresis chip separation to push a certain liquid sample into the separation channel.The electrokinetic injection system model was set up;the theory and the rule of the liquid flow were studied.The numerical simulation describing the potential,velocity vector and the stream distribution in the micro channel is presented.According to these simulation results,the pushing sample injection experiments were designed and the experimental results agree well with the simulation results.; Yan WeipingLi HenanChen LimingChen Haijun

Ni薄膜热敏电阻的研究被引量：2: 2004年; 采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃。对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。; 闫卫平席文柱邝永变杜立群; 关键词：热敏电阻

Cr金属薄膜温度传感器的研究被引量：1: 2004年; 采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。; 闫卫平朱剑波马灵芝郭吉洪; 关键词：温度传感器电阻温度系数

硅基热流式微流量传感器研究被引量：6: 2004年; 采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。; 席文柱闫卫平马灵芝牛德芳; 关键词：微流量传感器微加热器微机械电子系统

集成PCR芯片温控系统的设计被引量：2: 2005年; 针对自行研制的集成PCR芯片,以AT89C51单片机为核心,利用A/D转换器构成数据采集输入通道,采用修正的PID算法以及事件驱动编程模型,设计出升降温迅速、控温准确的集成PCR芯片温控系统。; 何文波闫卫平; 关键词：温控系统 PID算法

PCR生物芯片温控系统设计被引量：1: 2004年; 本文针对自行研制的PCR芯片,以AT89C51单片机为核心,利用A/D转换器等构成数据采集输入通道,采用PID控温算法及PWM技术实现驱动输出,设计出升温迅速、控温准确的PCR芯片温控系统。; 刘大震闫卫平刘志刚; 关键词：单片机生物芯片温控系统 PID算法 PWM

芯片毛细管电泳电动进样实验的研究被引量：1: 2005年; 芯片毛细管电泳分析系统在免疫测定、DNA分析和测序、氨基酸和蛋白质分析、生物细胞研究方面有广泛的应用前景。其中采用的电动进样控制系统,具有控制电压低,控制灵活等特点。介绍了一种芯片毛细管电泳电动进样实验的设计,并给出实验中的测试结果。; 陈东闫卫平闫平陈海波; 关键词：芯片毛细管电泳数模转换

低电压驱动毛细管电泳芯片电势分布的数值计算被引量：3: 2005年; 低电压驱动阵列电极式毛细管电泳芯片是针对毛细管电泳芯片分离电压高、系统体积庞大的缺点,在原有芯片的结构上进行改进的电泳芯片。通过建立数学模型,计算了设置阵列电极后毛细管电泳微沟道内的电势分布,并与常规进样条件下微沟道内的电势分布进行比较,结果表明该方法可以使分离电压大幅度下降。; 陈里铭闫卫平刘军民; 关键词：毛细管电泳芯片阵列电极低电压

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