湖北省自然科学基金(2003ABA066)
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 相关作者：章天金张柏顺刘江华江娟何军更多>>
- 相关机构：湖北大学更多>>
- 发文基金：湖北省自然科学基金湖北省教育厅自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- TiO_x层在Pt/Ti电极中对Ti扩散的抑制作用被引量：2
- 2006年
- 采用直流磁控溅射方法在SiO2/Si衬底上制备出Pt/Ti和Pt/TiOx底电极。用XRD分析其晶相结构,用AFM测量其晶粒尺寸和表面粗糙度。结果表明,用TiOx层代替金属Ti后,能有效地抑制在高温环境下Ti原子向Pt层扩散,使电极表面粗糙度减小(粗糙度为2.99 nm)。
- 张柏顺何军章天金
- 关键词：电子技术铁电薄膜PT/TI电极粗糙度
- R.F.溅射Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3/RuO_2薄膜及其介电特性研究被引量：2
- 2004年
- 用R.F.磁控溅射法在p—Si(100)衬底上沉积Ba0.5Sr0.5TiO3/RuO2异质结,BST薄膜的晶相和表面形貌用XRD和SEM分析,表明在衬底温度为550℃时,薄膜的结晶度高、表面粗糙、晶粒较大.电容器InGa/BST/RuO2的介电特性由ε-V特性和I—V特性描述.薄膜在零偏压下ε=230、tgδ≈0.03.低电场条件下,薄膜的漏电流随电压呈饱和特性,属电子跳跃传导,且通过改善薄膜的结晶度可减小该漏电流.高电场条件下,漏电流符合肖特基发射规律.
- 张柏顺章天金江娟刘江华
- 关键词：BST薄膜射频溅射底电极结晶度介电特性
