国家高技术研究发展计划(2003AA404090)
- 作品数：4 被引量：36H指数：3
- 相关作者：车录锋肖素艳王跃林李昕欣徐涌更多>>
- 相关机构：中国科学院华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作被引量：5
- 2008年
- 论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载体硅片与PI衬底之间引进PDMS分离层,使得柔性器件的分离工艺大大简化。最后得到一种简单、低廉且与常规MEMS技术兼容的工艺。所制的传感器结构轻薄,可挠性好,且能贴附在任意形状的物体表面同时实现法向力和切向力的测量。
- 肖素艳车录锋李昕欣王跃林
- 关键词：触觉传感器
- 柔性仿生复眼成像系统探测机理模拟研究
- 提出了一种用MEMS工艺制作的新型的柔性曲面复眼探测器模型,它具有如昆虫复眼一样的曲面多孔径结构,体积小巧,探测视场大,探测灵敏度高,而且可以合并几个探测器而实现360°全视场探测,它具有对物体角运动十分敏感的特点,能简...
- 向思桦陈四海潘峰黄磊赖建军柯才军易新建
- 文献传递
- 基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
- 基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器。该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控。采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体...
- 肖素艳车录锋李昕欣王跃林
- 关键词：MEMS技术聚酰亚胺铂薄膜电阻温度传感器
- 文献传递
- 微型柔性剪切应力传感器的制作研究被引量：7
- 2005年
- 利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。
- 陈四海汪殿民朱福龙徐涌易新建
- 关键词：微机电系统
- 基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究被引量：1
- 2005年
- 基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻温度系数接近于0.0023/℃.
- 肖素艳车录锋李昕欣王跃林
- 关键词：MEMS技术聚酰亚胺铂薄膜电阻温度传感器
- 基于MOEMS工艺制作柔性光学传感器
- 基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的...
- 陈四海潘峰付小朝柯才军汪殿民向思桦赖建军易新建
- 关键词：柔性传感器
- 文献传递
- 基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究被引量：24
- 2005年
- 采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰亚胺衬底上的铂薄膜热敏电阻与温度的变化具有良好的线性,其电阻温度系数达0.0023/℃。与固态聚酰亚胺膜衬底相比,采用旋涂液态聚酰亚胺解决了制备中遇到的两大主要困难:其一,消除了涂聚酰亚胺衬底与载体界面之间的气泡,聚酰亚胺衬底表面能保持良好平整度;其二,制备过程中由于热循环而使柔性衬底产生的热膨胀明显减小。这种柔性温度传感器阵列易贴于高曲率物体表面以探测小面积温度场分布。
- 肖素艳车录锋李昕欣王跃林
- 关键词：聚酰亚胺柔性衬底铂薄膜电阻温度传感器
