国家自然科学基金(90207006)
- 作品数：10 被引量：17H指数：3
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- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进
- 聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度对吸湿...
- 曾欢欢赵湛王奇方震张博军
- 关键词：湿度传感器电容式
- 文献传递
- 基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿被引量：1
- 2006年
- MEMS技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。用于测量大气气压的传感器,主要材料是硅、氮化硅和铂金,氮化硅薄膜形成了传感器的主要结构。这种压力传感器与一般传感器相比具有结构简单、工艺易于实现以及精度高等优点。设计了工艺过程,制作了器件样片,并算法补偿了温度对传感器的影响。
- 王奇赵湛曾欢欢方震张博军
- 关键词：MEMS压力传感器氮化硅温度
- MEMS中的微组装技术被引量：2
- 2005年
- 随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微组装技术的需求日益迫切。介绍了微器件组装技术的研究和发展概况,包括顺行和并行微组装技术,并对各种微组装技术进行了比较。对未来微组装技术的发展和应用前景进行了讨论。
- 孙红光夏善红张建刚
- 关键词：微器件
- 基于MEMS技术的温湿压集成传感器
- 2005年
- 介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的压力敏感膜也是由悬空氮化硅薄膜形成的.这种传感器与一般的集成传感器相比,具有结构简单、工艺简单、精度高的优点.
- 王奇赵湛曾欢欢方震张博军
- 关键词：MEMS氮化硅
- 微型器件的自装配技术被引量：4
- 2003年
- 自组装技术起源于生物化学领域。20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景。本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重力以及亲水(疏水)力作为驱动的多种自组装过程,着重总结了自组装技术在MEMS领域的应用。
- 邓凯夏善红
- 关键词：微机电系统毛细作用
- 探空温湿压系统研制
- 介绍了用于测量大气湿度、温度和气压探空集成传感器系统。利用集成温湿压传感器采集信号,测量采用24位AD精度MCU,借助CC1000将信号调制,MAX2235将信号功率放大无线发送。给出了集成温湿压传感嚣结构、测量系统的原...
- 方震赵湛王奇曾欢欢王溢仲张博军
- 关键词：MEMSCC1000
- 文献传递
- 一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造被引量：5
- 2006年
- 一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器。此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此种传感器的工作原理,并通过计算机模拟验证了可行性,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。实验数据表明,新型电场传感器的分辨率达到250 V/m。
- 陶虎彭春荣陈贤祥白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微加工技术压电陶瓷
- 探空温湿压系统研制
- 2005年
- 介绍了用于测量大气湿度、温度和气压探空集成传感器系统.利用集成温湿压传感器采集信号,测量采用24位AD精度MCU,借助CC1000将信号调制,MAX2235将信号功率放大无线发送.给出了集成温湿压传感器结构、测量系统的原理、测量系统的硬件框图及关键软件的设计流程.实验结果证明:该系统在满足测量精度的条件下,降低了系统的体积和成本.
- 方震赵湛王奇曾欢欢王溢仲张博军
- 关键词：MEMSCC1000
- 聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进被引量：1
- 2005年
- 聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度对吸湿性能的影响.研究了反应离子刻蚀(RIE)对完成电极腐蚀后的芯片进行高选择比的各向异性刻蚀及对湿度响应的影响,结果表明增大了PI与周围环境的接触面积,提高了响应速度.
- 曾欢欢赵湛王奇方震张博军
- 关键词：湿度传感器电容式
- 基于Si_3N_4薄膜的压力传感器被引量：2
- 2006年
- 采用微机电系统（MEMS）技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。基于Si3N4压力敏感膜，利用MEMS技术，设计了一种用于测量气压的传感器。采用应变电阻原理对压力进行测量，进行了理论分析计算，设计了工艺过程，制作出了器件样片。这种压力传感器的显著优点是结构简单、工艺过程容易。并且，在50—100kPa的压力条件下，对传感器进行了测试，其精度达到了0．5％。
- 王奇赵湛耿照新方震曾欢欢张博军
- 关键词：微机电系统压力传感器氮化硅
