国家高技术研究发展计划(2012AA040405)
- 作品数：5 被引量：17H指数：2
- 相关作者：仇中军卢翠伊萍房丰洲何宽更多>>
- 相关机构：天津大学中国工程物理研究院中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 微圆弧刃金刚石车刀在线图像测量方法
- 2013年
- 为摆脱传统圆弧刃金刚石车刀制造对操作者技能熟练程度和经验的依赖,并克服制造过程中需反复离线测量的缺点,利用在线图像测量方法代替传统制造方法中的离线测量,将获取的切削刃的形状信息和位置信息实时反馈给控制系统,直接驱动研磨系统带动金刚石车刀按照最优的加工策略针对性的进行切削刃轮廓自动研磨和修整。通过比较三种车刀切削刃圆弧获取方法的效率及精确性,确定获取金刚石车刀切削刃圆弧中心及研磨系统的旋转中心的最佳图像处理方法。利用在线获取金刚石车刀切削刃圆弧中心及实时计算其和研磨系统的旋转中心距离,实现初始装夹时金刚石车刀位置的实时调整,从而消除初始安装误差切削刃加工精度及效率的影响。开发适用于微圆弧刃金刚石车刀测量的图像测量系统,实际测量验证试验表明,利用开发的在线图像测量方法获得的切削刃轮廓信息从原理上更准确,从而为实现圆弧刃金刚石车刀高效、高精度、低成本的稳定加工提供了保证。
- 仇中军房丰洲赵群章周立波
- 关键词：金刚石车刀图像处理研磨
- 石英玻璃表面改性后的力学特性分析被引量：15
- 2013年
- 改变石英玻璃表面的硬度和弹性模量能提高脆性-延性转变的临界磨削深度,实现延性模式磨削。本文通过利用Na2CO3溶液和石英玻璃成分发生化学反应的方法对石英玻璃表面进行改性,并基于纳米压痕法和划痕法对改性后的石英玻璃表面进行分析,研究改性后石英玻璃表面的力学性质和材料去除过程。通过纳米压痕实验表明,Na2CO3溶液中的OH-和石英玻璃发生化学反应,能够在石英玻璃表面生成厚度约为12nm非SiO2成分的物质薄膜,降低了石英玻璃表面硬度和弹性模量,5%、15%的Na2CO3溶液分别使石英玻璃表面硬度降低了4.4%和14.2%,使弹性模量分别降低了9.4%和12.0%,理论脆延转换临界磨削深度分别被提高了3.7和39.1%,从而提高了石英玻璃延性磨削的可操作性。
- 仇中军伊萍卢翠房丰洲
- 关键词：石英玻璃表面改性纳米压痕
- 高线密度X射线双光栅的研制被引量：2
- 2014年
- 研究了采用高分辨率的100 kV电子束光刻和光学光刻系统相结合制作高线密度X射线双光栅的工艺技术,并且分析了电子束邻近效应校正技术在高线密度光栅制备中的应用。首先,利用电子束曝光和纳米电镀技术在同一衬底上制备两种不同线密度光栅图形;然后,利用光学光刻在2 000 lp/mm光栅上制备了自支撑加强筋结构。通过此技术制备的X射线双光栅成功集成了高线密度5 000 lp/mm透射光栅和2 000 lp/mm自支撑透射光栅,其栅线宽度分别为100和250 nm,金吸收体厚度达到400 nm。
- 何宽易涛刘慎业牛洁斌陈宝钦朱效立
- 关键词：电子束光刻
- 石英玻璃高效精密专用磨削液试制
- 2013年
- 为了提高石英玻璃的磨削去除效率与加工质量,本文基于石英玻璃化学机械磨削原理,开发了石英玻璃高效精密专用水基磨削液。此专用磨削液在水基冷却液基础上分别添加了具有化学改性、冷却、润滑和防锈性能的添加剂,通过正交实验法分析了不同添加剂对石英玻璃表面粗糙度的影响,在此基础上确定了各添加剂的最优成分配比组合。利用开发的专用磨削液与市售磨削液分别对石英玻璃进行磨削实验,实验结果表明,开发的专用磨削液可提高石英玻璃材料的表面加工质量,其磨削性能要优于市售磨削液,能实现石英玻璃高效精密化学磨削。
- 卢翠仇中军伊萍杨雪
- 关键词：石英玻璃磨削液表面改性
- 行波液体静压轴承浮力及其稳定方法的实验研究
- 2014年
- 提出了一种基于蠕动传输作用的新型行波液体静压轴承。首先基于行波液体静压轴承原理,建立了轴承原理验证装置。然后基于差动螺纹机构建立了轴承面倾斜调整机构,实现轴承的完全上浮。利用所开发的轴承验证装置,实验研究了行波液体静压轴承在上浮方向上有导轨时的轴承承载能力,证明了行波液体静压轴承及其稳定方法的可行性,并给出了驱动参数,例如:驱动电压和驱动频率,以及轴承间隙高度对轴承浮力稳态值的影响规律。
- 李英杰周明社本英二
- 关键词：行波静压轴承
- 复杂光学曲面超精密磨削关键技术的研究
- 随着现代光电信息技术的快速发展，应用于天文、航空、激光、医疗及通讯等领域的光学元件的功能发生了质的飞跃。在折反射光学系统中，采用复杂曲面光学元件较传统的平面、球面光学元件在减少光学元件数量、简化光学系统结构、提高设计自由...
- 闫广鹏
- 关键词：超精密磨削材料去除机理误差补偿
