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中国科学院西部之光基金(2005ZD01)
作品数:
1
被引量:2
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相关作者:
梅书刚
王警卫
汪韬
吴雷学
景争
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2009
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低压MOCVD生长参量对Ⅱ型InAs/GaSb超晶格材料表面形貌的影响
被引量:2
2009年
采用自制低压金属有机源化学气相沉积设备,在(100)面GaSb单晶衬底上生长了Ⅱ型InAs/GaSb超晶格材料.利用双晶X射线衍射、光学显微镜、原子力显微镜和光致发光谱等分析手段对材料特性进行了表征,获得了表面光亮的晶体质量较好的Ⅱ型InAs/GaSb超晶格材料,在77K下得到光致发光谱峰值波长为3.25μm.研究了生长温度、过渡层、界面层对其表面形貌的影响,得出生长温度在500℃~520℃,无过渡层,使用InAsSb界面层有利于改善材料的表面形貌.
吴雷学
汪韬
王警卫
李晓婷
景争
尹飞
梅书刚
关键词:
超晶格
界面层
表面形貌
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