安徽省自然科学基金(1408085QA16)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- 相关机构：华中科技大学大连理工大学安徽理工大学更多>>
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- 负偏压离子鞘及气体压强影响表面波放电过程的粒子模拟被引量：1
- 2014年
- 由于表面电磁波沿着介质-等离子体分界面传播,而很难通过对传统的表面波等离子体(SWP)源施加负偏压实现金属材料溅射,因此限制了SWP源的使用范围.近期,一种基于负偏压离子鞘导波的SWP源克服了这个问题,且其加热机理是表面等离激元(SPP)的局域增强电场激励气体放电产生.但是该SWP源放电过程的影响因素并未研究清晰,导致其最佳放电条件没有获得.本文采用粒子(PIC)和蒙特卡罗碰撞(MCC)相结合的模拟方法,探讨了负偏压离子鞘及气体压强影响SWP电离发展过程的放电机理.模拟结果表明,负偏压和气体压强的大小影响了离子鞘的厚度、SPP的激励和波模的时空转化,从而表现出不同的放电形貌.进一步分析确定,在负偏压200 V左右和气体压强40 Pa附近,该SWP源的放电效果最佳.
- 陈兆权殷志祥陈明功刘明海徐公林胡业林夏广庆宋晓贾晓芬胡希伟
- 关键词：表面波等离子体表面等离激元
