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教育部留学回国人员科研启动基金(LKKQ0805)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：傅金彪韩维儒张朝辉吴波刘海龙更多>>
相关机构：北京有色金属研究总院福州大学更多>>
发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金福建省农科院青年科技人才创新基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇离子
  • 1篇溅射
  • 1篇ZNO
  • 1篇AL
  • 1篇CO
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇福州大学
  • 1篇北京有色金属...

作者

  • 1篇刘海龙
  • 1篇吴波
  • 1篇张朝辉
  • 1篇韩维儒
  • 1篇傅金彪

传媒

  • 1篇福州大学学报...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Co、Al共掺杂ZnO靶材溅射过程中离子与固体相互作用的模拟被引量：2
2010年
根据随机碰撞过程中的级联碰撞原理,跟踪载能粒子在固体内的慢化过程,选用SRIM2008软件模拟了Co、Al共掺杂ZnO靶材在溅射过程中离子与固体相互作用.研究了溅射过程原子的选择性溅射现象,溅射原子的能量、角度分布情况,得出ZnO基靶材溅射过程中离子与固体相互作用的规律.欲获得成分接近Zn0.85Co0.1Al0.05O的薄膜,最佳的溅射工艺条件为:Ar+离子以68°的角度入射,靶材成分采用Zn0.7Co0.23Al0.07O.
傅金彪吴波张朝辉刘海龙韩维儒
关键词：ZNOCOAL溅射掺杂离子
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