国家杰出青年科学基金(69925512)
- 作品数：19 被引量：218H指数：9
- 相关作者：张学军郑立功张忠玉范镝张峰更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院吉林大学更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程化学工程航空宇航科学技术理学更多>>
- 环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究被引量：27
- 2006年
- 利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。
- 王孝坤张学军王丽辉郑立功
- 关键词：干涉术计算机模拟
- 大偏离量非球面加工系统的精度标定被引量：3
- 2003年
- 用于红外侦察、预警相机中的非球面,当直径大于500mm时,非球面的偏离量大约为200μm以上(PV值),目前的发展趋势是非球面偏离量还会继续加大。如果从最接近球面开始修磨,则工作量较大、工作周期较长。所述加工系统基于直接成型非球面的思想进行开发,通过精度标定,借助于误差补偿手段保证了系统的加工精度,实现了非球面快速铣磨成型的目的。
- 程灏波张学军郑立功张峰常军张忠玉程仕东
- 关键词：误差补偿矢高
- 计算机控制光学表面成型变参量控制的模拟计算
- 由描述计算机控制光学表面成型（CCOS）的Preston方程出发,针对磨头平转动加工方式,建立了工件与磨头之间的相对运动关系。在此基础上,模拟计算了除驻留时间以外的控制参数（磨头驱动电机转速）对CCOS加工质量的影响,为...
- 程灏波郑立功张学军范镝张峰曹晓君
- 关键词：光学技术与仪器去除函数
- 文献传递
- 反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工被引量：18
- 2003年
- 介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片。给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603 6μmⅹ448 4μm)。
- 范镝张学军张忠玉牛海燕丰玉琴
- 关键词：反应烧结碳化硅光学加工面形精度粗糙度平面反射镜
- 矩形离轴非球面反射镜的数控加工被引量：14
- 2004年
- 针对离轴TMA结构空间相机中使用的两块离轴非球面反射镜的加工过程,提出了一种新型的矩形离轴非球面的最接近球面半径的求解及其优化方法,并且开发了基于计算机虚拟加工技术的CCOS工艺参数计算方法。被加工工件分别为165mm×100mm的矩形凸面离轴非球面和770mm×200mm的矩形轻量化凹面离轴非球面,设计精度分别为任意100mm,200mm子孔径面形精度优于0.025λRMS(λ=632.8nm)。经检验,工件的加工精度满足了设计要求,分别达到了0.023λRMS和0.013λRMS。
- 郑立功张学军张峰
- 关键词：非球面加工离轴非球面计算机控制光学表面反射镜数控加工
- 离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究被引量：12
- 2006年
- 分析了非球面补偿检验过程中由补偿器和镜面支撑结构的失调引入的调整量误差,给出了计算机辅助调整方法。建立了离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整系统的物理数学模型,求解了被检非球面镜的失调方位和量值,利用计算机控制调整架实现了系统辅助调整。建立了实验装置,给出了模拟调整和实际调整结果。经过计算机辅助调整后,被检离轴二次非球面的最终检验结果为0.028λ(RMS)(λ=632.8 nm)。
- 薛栋林郑立功王淑平张学军
- 关键词：补偿器
- 反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测被引量：13
- 2004年
- 介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片,并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。
- 范镝张忠玉牛海燕丰玉琴张学军
- 关键词：反应烧结碳化硅光学加工面形精度粗糙度空间光学系统
- 大口径高陡度离轴非球面精磨阶段的数控加工被引量：19
- 2007年
- 对大口径高陡度离轴非球面的数控加工过程中遇到的矢高变化率太大、磨头去除特性改变等技术难题进行了深入细致的研究,并提出了相应的解决方法。首先,通过坐标变换降低高陡度离轴非球面的矢高变化率;然后,给出了磨头沿非球面的法线方向进行数控加工的具体实施方法;最后,对轮廓检验的结果进行修正,使之在法线方向投影,从而使数控加工能更加准确有效地控制面形误差收敛。给出了数控加工实例,精磨阶段达到面形精度PV:10.502 8μm,RMS:0.829 3μm。结果表明,提出的方法在工程中完全可行,并有较高的收敛效率。
- 李锐钢郑立功张峰薛红梅张学军
- 关键词：数控加工
- 反应烧结碳化硅反射镜表面改性技术被引量：8
- 2009年
- 为了解决新型优质光学材料—反应烧结碳化硅(RB-SiC)由SiC和Si两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了反射镜表面改性方案并且从加工工艺的角度介绍了改性工艺流程。以空间反射镜的使用环境为依据,对几种适用的RB-SiC改性材料进行了较为全面的分析比较。本文采用新的离子辅助沉积碳化硅(IAD-SiC)材料为改性层,对改性层的表面形貌及部分性能进行了测试,证明IAD-SiC膜层能够满足改性要求。在厚度为(6±0.5)μm的IAD-SiC膜层表面进行了一系列抛光工艺实验,文中给出了超光滑表面抛光工艺参数和实验结果。对改性层进行精抛光后,100mm口径样片的面形精度为0.033λRMS(λ=632.8nm),表面粗糙度优于0.5nmRMS。结果表明,本方法不仅可以很大程度提高元件表面质量,还可以进一步精修面形,为超光滑、低散射RB-SiC反射镜的加工提供了一条可行途径。
- 徐领娣张学军王旭
- 关键词：反应烧结碳化硅表面改性表面粗糙度超光滑表面
- 子孔径拼接检测非球面的初步研究被引量：7
- 2006年
- 使用子孔径拼接技术可以无需补偿器、大口径的辅助镜、全息图等辅助元件实现对大口径、大偏离量、高陡度非球面甚至离轴非球面的检验,而且可以同时获得中高频的相位信息,大大地提高了测量精度,降低了成本。在总结了常用检测非球面方法优缺点的基础上提出了利用圆形子孔径、环形子孔径检测非球面的基本原理,并对其步骤的实现、数学模型的建立和拼接算法的开发进行了分析和研究。结果表明,子孔径拼接检测技术可以作为补偿检验以外的另一种定量测试非球面的手段,可以和其它检测方法相互验证,从而确保检测的准确性和可靠性。
- 王孝坤张学军
- 关键词：非球面最小二乘拟合
