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金属催化剂对CO气敏薄膜特性影响的密度泛函法分析: 2006年; 根据密度泛函理论,采用总体能量平面波赝势方法,计算了CO气体敏感薄膜中几种常用金属催化剂(P T,PD,CU,A G)的能量最低晶面,并对CO在这些晶面上的吸附特性进行了研究.从结合能、C O键长、轨道布居、态密度等方面比较了C与金属成键强度及CO分子被活化程度.计算结果发现,CO在金属表面的吸附强度及金属对CO催化效果强弱的顺序是:P T>PD>CU>A G.得出结论:对于CO气体传感器,P T是通过金属催化剂添加提高灵敏度的最佳选择.; 薛严冰唐祯安魏广芬; 关键词：密度泛函金属催化剂薄膜传感器

基于纳米二氧化硅掺杂的丝网印刷碳糊电极葡萄糖生物传感器被引量：3: 2007年; 研究了在丝网印刷碳糊电极上制作并改进生物敏感膜的过程,完成了基于纳米二氧化硅掺杂的用于测量人体血浆中葡萄糖浓度的生物传感器的制作.从酶促动力学原理分析了电极和生物敏感膜在各种实验参数优化前后的特性.实验证明:优化后的传感器灵敏度提高了2.6倍,检测范围为1.1～33.3mmol/L,对测试范围内不同浓度的葡萄糖样本,相对标准偏差均<5(,且稳定性良好,有较高的研究价值和应用前景.; 杨笑鹤杨昊潘敏陈裕泉; 关键词：生物传感器反应动力学灵敏度葡萄糖氧化酶

氯化铜掺杂的多壁碳纳米管对甲醛的气敏响应研究被引量：9: 2006年; 按照一定的质量比将CuCl2与多壁碳纳米管悬浊液超声掺杂。将纯的多壁碳纳米管悬浊液和掺杂后的碳管悬浊液分别旋涂在真空溅射的叉指金电极上,干燥后作为气敏膜。分别检测两组气敏膜暴露于甲醛气体前后的电流变化,并计算其灵敏度。掺杂后的多壁碳管气敏膜的灵敏度显著提高,且响应与恢复时间均明显缩短;室温下该传感器的响应非常稳定。CuCl2掺杂所导致的多壁碳管结构缺陷的增加可能是提高掺杂后碳管气敏响应的重要因素。; 郭淼方向生糜裕宏张孝彬陈裕泉; 关键词：多壁碳纳米管掺杂 CUCL2 甲醛

Experimental Study on the O2 Influences on Semiconductor Gas Sensor Responses: This paper studies the influence of environmental O2 on the semiconductor gas sensor responses experimentally....; Guang-Fen WeiZhen-An Tang

基于硅微加工工艺的微热板传热分析被引量：13: 2005年; 针对常压和真空两种环境 ,通过三维有限元模拟分析了背面体硅加工型、正面体硅加工型和表面加工型三种微热板 (MHP)的传热主渠道和加热功率 .制作了背面体硅加工型和表面加工型MHP ,并对两者在常压及 13 3Pa气压下的加热功率进行了测试 .实验值与有限元分析结果一致 ,表明虽然真空中表面加工型MHP热功耗小于背面体硅加工型MHP ,但薄层空气导热使表面加工型MHP在大气中的功耗大幅增加。; 余隽唐祯安陈正豪魏广芬王立鼎闫桂贞; 关键词：微热板有限元热传导

用于薄膜热容测量的微型量热计: 设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术。与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点。在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K...; 余隽唐祯安张凤田陈正豪王立鼎; 关键词：MEMS器件热容; 文献传递

气体传感器阵列信号的盲分离研究被引量：1: 2006年; Responses of a Micro-hotplate based integrated gas sensor array to CO and CH4 were measured with an automated gas sensor calibration system.Combining with the blind source separation（BSS） techniques,the blind separability in gas mixture analysis was discussed.The widely used BSS approach-Independent Component Analysis（ICA） was adopted to verify the proposed method by analyzing the gas mixtures of CO and CH4.The analysis results demonstrate that BSS was an effective way to extract the information of gas components in mixtures,from which the gas concentrations can be estimated.The average relative quantification errors were 9.37% and 8.11% for CO and CH4,respectively,in the specified concentration ranges.; 魏广芬唐祯安陈正豪余隽王立鼎闫桂珍; 关键词：盲信号分离气体传感器阵列

微气体传感器的稳定性测试研究被引量：2: 2005年; 测试了一组微热板式气体传感器的稳定性,着重讨论了稳定性的几种描述方法,采用统计学方法对文献中常用于描述稳定性的几种特征参数进行了比较和取舍,引入了特征参数离散度来描述气体传感器的稳定性,并使用该方法比较了预加热时间对传感器稳定性的影响。; 魏广芬唐祯安陈正豪余隽王立鼎; 关键词：稳定性 SNO2 特征参数

基于气体传感器阵列的气体检测仪表研究: 研制了一台以4个气体传感器组成的敏感阵列为探头,并具有温度、湿度补偿硬件和软件算法的气体检测仪表。采用脉冲方式为气体传感器加热,具有气体体积分数、环境温度、湿度显示,以及超出限度给出声光报警和数据存储传输等功能,并有配套...; 焦培胜唐祯安魏广芬卢好正孙蕾; 关键词：仪表气体传感器单片机; 文献传递

用于薄膜热容测量的微型量热计被引量：1: 2005年; 设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术.与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点.在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K升至400K只需约0.5ms,升温速率达2×105K/s.针对微量热计热质小、升温快等特点,引入了脉冲扫描量热法来测量薄膜的热容.测量了厚度为(430±20)nm的Al薄膜从300K到420K的热容曲线,该薄膜的热容在室温附近为9.2nJ/K.若薄膜的密度值取2700kg/m3,则该Al薄膜的比热容在室温下约为1096.8J/(kg·K),比Al体材料的比热容值900J/(kg·K)增加了约21.9%,表现出金属纳米晶体的热容增强效应.; 余隽唐祯安张凤田陈正豪王立鼎; 关键词：MEMS器件热容

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国家高技术研究发展计划(2003AA404180)