国家高技术研究发展计划(2003AA404150)
- 作品数：10 被引量：29H指数：3
- 相关作者：李艳秋刘少波刘梅冬曾亦可张清涛更多>>
- 相关机构：中国科学院华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的研究被引量：2
- 2003年
- 采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)技术,在Pt/Ti/SiO2/Si3N4/SiO2/Si基片上研制出具有优良热释电性能的BST,PLT和PZT铁电薄膜,它们是制备单片式非致冷红外焦平面阵列的优选探测材料。解决了制备热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的关键技术,成功研制出8元、9元、10元线列和8×8元阵列,器件电压响应率(RV)达8.6×103V/W。
- 刘少波李艳秋刘梅冬
- 关键词：单片式非致冷红外焦平面阵列热释电铁电薄膜刻蚀
- 0-3型(Ba_(1-x-y)Sr_xPb_y)(Mn,Ti)O_3铁电厚膜的制备与表征被引量：2
- 2003年
- 铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一。采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30nm～70nmMPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性能优良(Pr=3.8μC/cm2)的0-3型铁电厚膜。通过TEM、XRD、TGA-DTA、AFM等手段分析了Sol-Gel工艺的化学机制和热演化历程,结果表明:采用以乙二醇乙醚为主要溶剂的Sol-Gel技术可降低MPBST粉体/厚膜的合成温度,提高粉体均匀性和晶相结构单一性。
- 刘少波李艳秋刘梅冬曾亦可
- 关键词：合成温度晶相结构
- 微型MEMS致冷器的研究新动向被引量：3
- 2005年
- 微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件的新型致冷器。着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用研究前景。
- 刘少波李艳秋刘梅冬曾亦可
- 关键词：铁电薄膜
- Pb(Sc_(1/2)Ta_(1/2))O_3铁电薄膜的制备及性能研究被引量：1
- 2005年
- 用Pb(CH3COO)2·3H2O、Sc(CH3COO)3·xH2O和C10H25O.5Ta为原材料,乙二醇甲醚为溶剂,用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SO2/Si基片上成功地制备出ABO3钙钛矿型结构Pb(Sc1/2Ta1/2)O3(PST)铁电薄膜。该薄膜是研制铁电微型致冷器和非致冷热释电红外焦平面阵列的优选材料。对制备出的PST薄膜进行了介电、铁电和热释电性能测试。测试得到在1kHz下PST薄膜的介电常数为570,介电损耗为0.02。铁电性能良好,剩余板化强度为3.8～6.0μC·cm-2,矫顽场为40～45kV·cm-1。热释电系数为4.0×10-4～20×10-4Cm-2K-1。
- 刘梅冬曾亦可邓传益姜胜林李元昕李艳秋刘少波
- 关键词：铁电薄膜溶胶-凝胶铁电性热释电性
- 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究
- 利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝...
- 张清涛李艳秋尚永红刘少波
- 关键词：溶胶凝胶铁电薄膜钙钛矿相
- 文献传递
- 新型MEMS微致冷器可行性研究被引量：2
- 2003年
- MEMS的高能量密度驱动和IC高度集成使MEMS器件产生较强的热效应,影响了MEMS器件的稳定性和寿命。传统的致冷器与待致冷器件是相对独立的器件,无法满足MEMS器件局部有效致冷和系统集成的要求。介绍了一种新型铁电薄/厚膜MEMS微致冷器的原理和设计,探讨其作为MEMS致冷器的可行性,该致冷器可以在较大工作温度范围内,对基于IC硅工艺的MEMS器件和普通IC芯片进行致冷。
- 李艳秋刘少波刘梅冬曾亦可
- 关键词：MEMS铁电薄膜电热效应
- 多级MEMS铁电制冷器有限元分析
- 在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究。数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,这对...
- 尚永红李艳秋张清涛刘少波
- 关键词：MEMS微型制冷器PMNT有限元法
- 文献传递
- 极紫外光刻真空工件台技术研究被引量：2
- 2005年
- 在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素。结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状,论述了极紫外光刻机真空工件台系统的特征、组成及其关键技术。
- 朱涛李艳秋
- 关键词：工件台真空
- 弛豫性PMN/PT铁电致冷材料的制备及电生热效应研究
- 随着微机电系统(MEMS)及信息技术(IT)的快速发展,微执行器与微传感器等MEMS器件,以及笔记本电脑、移动PC、CD或mp3播放机等便携式系统日益小型化和多功能化,它们不仅需要高能量密度的微驱动电源,而且需要微型冷
- 刘少波李艳秋
- 关键词：MEMS
- 文献传递
- MEMS器件中电极制作工艺的研究被引量：7
- 2005年
- 研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性。结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全可以得到实用性的带有凹面的光刻胶剖面和线条均匀性达到微米级的金属线条,简化了lift-off工艺,降低了成本,改进了金属电极的制备方法。
- 张清涛李艳秋
- 关键词：光刻胶电极
