国家高技术研究发展计划(2003AA404140)
- 作品数：17 被引量：86H指数：4
- 相关作者：李德胜张永华丁桂甫蔡炳初刘本东更多>>
- 相关机构：北京工业大学上海交通大学哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程化学工程更多>>
- 微机械电磁继电器三维磁场分析及其电磁系统优化设计被引量：13
- 2006年
- 基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足。其三维磁场分析是电磁系统优化设计的基础。文中应用毕奥–萨伐尔定律和积分方程法,分析了微机械电磁继电器磁场分布特性,计算结果与有限元法结果进行比较,表明所用方法对于微机械电磁继电器三维恒定磁场的分析是可行的。基于已有模型的结构特点设计了电磁系统的改进方案,通过分析比较活动电极电磁吸力的分布规律,确定了中心平面线圈结构设计方案将更加合理。结合线圈圈数、激励电流与电磁吸力之间的关系,完成了电磁系统的优化设计。所得结论对于微机械电磁继电器的设计具有一定的理论意义与实用价值。
- 任万滨梁慧敏王其亚翟国富李德胜
- 关键词：电磁系统三维磁场
- 一种单稳态微电磁继电器的研究被引量：3
- 2007年
- 优化设计出一种微电磁继电器,介绍了其驱动原理,通过对微电磁继电器的电磁驱动力及活动衔铁的位移进行分析计算,设计了微电磁继电器的三维结构,以增大磁路效率,减小漏磁通,从而增加电磁驱动力。采用MEMS加工工艺,试制了该新型微电磁继电器的样件,其尺寸为5 mm×5 mm×1 mm,它由上磁路、下磁路、平面励磁线圈、固定触点和活动衔铁等部分组成。微电磁继电器的平面励磁线圈电阻约20Ω,外加5 V电压时,微电磁继电器可实现吸合动作。吸合后,微电磁继电器的导通电阻为14.5Ω,继电器的响应时间为1 ms。
- 刘本东李德胜杨晓波
- 关键词：微驱动器MEMS
- 微机械电磁继电器的研究被引量：2
- 2004年
- 为了电磁继电器的微型化和提高生产效率,基于微机电系统(MEMS)加工技术提出并试制出一种微机械电磁继电器.这种微继电器由底层磁路、平面励磁线圈和活动电极(衔铁)构成比较完整的磁路,依靠励磁线圈的电流来控制其开关动作,微继电器体积约为5mm×5mm×0.4 mm,其制作工艺主要采用光刻、溅射、电镀和腐蚀牺牲层等常规微加工工艺;同时,利用磁路模型进行了电磁力的理论计算,利用其结果对活动电极尺寸和励磁线圈匝数进行了优化设计,给出了试制的微继电器样品的初步测试结果,励磁线圈阻抗约300Ω,触点导通阻抗约1.7Ω,励磁电流约50mA时可使继电器可靠吸合.
- 李德胜张宇峰李浩群
- 关键词：微加工磁路模型
- 电化学选择性刻蚀Cu/Ni牺牲层技术的研究被引量：1
- 2005年
- 牺牲层腐蚀技术结合MEMS技术是制作三维可动微机构的一个重要加工手段。采用电位控制的电化学释放牺牲层技术,对2种不同刻蚀液下的Cu/Ni叠层结构分别进行了电化学腐蚀,并测量了其伏安特性,结果表明:电位控制的电化学腐蚀能很好地进行有选择性刻蚀Cu/Ni牺牲层。
- 李永海丁桂甫张永华曹莹
- 关键词：电化学腐蚀选择性刻蚀牺牲层技术
- 小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计被引量：10
- 2007年
- 为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高。并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为10.7 MPa,C型硅杯应力峰值为2.25 MPa,E型硅杯应力峰值为2.8 MPa,通过比较可以看出,优化后的模型提高了微型压力传感器的灵敏性,验证了此模型的合理性。这种优化设计方法对小量程、高灵敏度微型压力传感器的研制具有一定的参考价值。
- 种传波李德胜刘本东
- 关键词：微压力传感器小量程高灵敏度仿真
- 基于线性平均的强化学习函数估计算法
- 2008年
- 提出了一种基于最小线性平均的强化学习算法,用于解决连续空间下强化学习函数估计的非收敛性问题。该算法基于梯度下降法,根据压缩映射原理,通过采用线性平均法作为值函数估计的性能衡量标准,把值函数估计的迭代过程转化为一个收敛于不动点的过程。该算法利用强化学习算法的标准问-题Mountain Car问题进行了验证,仿真结果验证了算法是有效的和可行的,并且可以快速收敛到稳定值。
- 陶隽源孙金玮李德胜
- 关键词：自动控制技术函数估计梯度下降法
- 基于SLM显微立体视觉模型的3D微定位研究被引量：1
- 2005年
- 基于体视显微镜(Stereolightmicroscope,SLM)的显微立体视觉已经在微操作领域应用。本文研究了基于SLM显微立体视觉模型的微操作系统中的三维微观定位问题。通过对SLM双光路的分析,给出了描述二维图像空间和三维物空间映射的弱非线性显微立体视觉模型。采用立体匹配算法和目标识别两种方式对运动图像序列中的目标对象进行捕捉,可以批量给出立体图像中相关点的坐标。利用显微立体视觉理论模型和显微图像处理实现了微操作系统中的微观3D定位。
- 王跃宗刘京会李德胜
- 关键词：微操作系统显微立体视觉体视显微镜目标识别
- 显微立体视觉中体视显微镜双光路相关性的研究被引量：2
- 2006年
- 基于体视显微镜的显微立体视觉系统已经在微操作系统中得到应用．体视显微镜的2个子光路之间存在耦合关系,耦合程度与光路结构及物点在视场中的位置有关,建立了描述体视显微镜双光路耦合关系的相关函数,且对相关性进行了量化,量化结果可用于成像误差估计及模型的选择．实验结果表明,G-SLM双光路的相关性大于CMO-SLM双光路的相关性,小孔成像模型用于分析G-SLM成像时,存在较大成像误差．
- 王跃宗李德胜于亚萍
- 关键词：立体视觉显微成像微操作微装配
- 用于MEMS的叠层光刻胶牺牲层技术(英文)被引量：8
- 2006年
- 研究了用于制备悬空结构的叠层光刻胶牺牲层工艺.讨论了工艺中常遇到的烘胶汽泡、龟裂、起皱、刻蚀电镀种子层时产生的絮状物和悬空结构释放时的粘附等问题,并提出了相应的解决办法.借助于分层刻蚀法和逐步替换法,用叠层光刻胶作牺牲层并利用湿法释放技术,制备得到了长1400μm、厚6μm、宽40μm、悬空高为10μm的完好的悬臂梁结构.
- 张永华丁桂甫姜政蔡炳初赖宗声
- 关键词：MEMS微结构光刻胶牺牲层
- 一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析被引量：3
- 2006年
- 提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。通电线圈用来实现器件的姿态转换。对设计的器件进行了电磁仿真分析,验证了器件的双稳态机制,分析表明:铁芯的存在对器件功能有决定性的影响。
- 张永华王艳丁桂甫马骏赵小林蔡炳初
- 关键词：微电子机械系统双稳态有限元法
