国家自然科学基金(50775063)
- 作品数：24 被引量：97H指数：6
- 相关作者：余晓芬余卿刘文文程伶俐徐从裕更多>>
- 相关机构：合肥工业大学华侨大学上海理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 基于磁流变阻尼固紧器的工作台定位研究被引量：1
- 2010年
- 基于磁流变液制作的X向、Y向磁流变阻尼固紧器,采用新颖的横向卧式结构,解决了传统纵向立式阻尼固紧器磁流变液溢出密封和摩擦初始阻尼力较大的问题。该固紧器具有柔性阻尼和无冲击固紧工作台的双重功能,减弱了传统固紧方法带来的冲击和直线电机驱动引起的振动,并成功应用于纳米三坐标测量机,使工作台在X向、Y向的分辨率达到5nm,定位稳态波动从原来的20nm减小到5nm。
- 余晓芬马文平程伶俐
- 关键词：磁流变液纳米三坐标测量机
- 数字微镜器件用于并行共焦测量的再研究被引量：11
- 2011年
- 数字微镜器件(DMD)可以控制其中每个微镜的偏转状态,相对于其他光分束器件,它可以构建出点光源大小可变、间距可调的柔性阵列光源。在前期研究的基础上,理论上推导出该阵列光源可以用于并行共焦测量,改进了测量光路,并结合实际使用找到了合适的阵列光源参数,获知了并行共焦测量系统的纵向分辨率与点光源大小的关系,最终通过对实物的测量较完善地阐述了基于DMD的并行共焦测量系统。
- 余卿余晓芬刘文文程伶俐
- 关键词：数字微镜器件
- 基于ZEMAX二组运动变焦系统凸轮曲线优化被引量：8
- 2009年
- 凸轮曲线优化是机械补偿变焦距光学系统后期设计的一个重要环节。只有沿着准确的凸轮曲线控制变焦距系统的活动组份,才能保证有稳定良好的像质。本文提出一种基于ZEMAX的凸轮曲线优化设计新方法。该方法利用ZEMAX宏语言编写变焦距系统凸轮曲线设计程序,得到变倍组和补偿组之间准确的相对位移关系。同时,该程序能够计算出随着光学系统焦距变化的像斑尺寸连续变化曲线,实现在设计凸轮曲线的同时,随着焦距的连续变化,实时了解光学系统综合像质走向。此举对凸轮曲线的合理性提供了至关重要的佐证。
- 林明发余晓芬
- 关键词：ZEMAX
- 用于微结构探测的并行共焦光学结构的研究被引量：5
- 2009年
- 基于菲涅尔衍射理论推导并行共聚焦系统的两种常用光路(显微与远心)的三维相干成像公式,发现两者在傍轴近似条件下并行探测能力没有明显区别,并且这一结果得到了实验证实。但是显微光路离轴探测光场在物面和图像面存在横向漂移,漂移随着离轴和离焦程度增加而增加,干扰了系统的轴向探测能力并且使正焦辨识过程复杂化,影响系统的测量效率;远心光路由于不存在探测光场的横向漂移,以及较好的结构可靠性使系统精度易于保证,应该成为构建并行共聚焦微结构探测系统的首选。
- 刘文文余晓芬余卿毕美华
- 关键词：微结构
- 基于PCI-7464采集卡的多通道压电陶瓷驱动电源的研制被引量：2
- 2009年
- 利用PCI-7464数据采集卡提供的DLL动态连接库函数及VB中的Timer控件，实现了8路0～10V的压电陶瓷驱动电源模拟控制信号的可编程输出，通过后续的放大电路，实现了0-300V控制电压的输出。所设计电源具有低纹波、多通道、高精度等特点，满足压电陶瓷的驱动要求。
- 范伟余晓芬
- 关键词：压电陶瓷驱动器数据采集卡电源
- 并行像散共焦序列图片的物点正焦信息萃取被引量：1
- 2011年
- 并行像散共焦系统是基于共焦探测原理实现微结构的三维形貌测量。采用微透镜阵列进行光束分割，实现并行探测。引入像散原理减小光学系统中的干扰和波动对探测特性的影响。通过萃取图片序列中各个并行物点探测曲线的“零”点，实现物点正焦位置辨识。阐述了基于序列图片萃取物点探测曲线“零”点过程中涉及的图片序列中并行光场的定位与分割策略、差动光能统计算法的优化与实现、物点探测曲线轴向有效区域裁定及其特性拟合等关键问题。据此开发的软件“微结构探测系统”能够快速可靠地实现全场物点正焦信息萃取，为微结构形貌的精确三维建模及可视化测量奠定了基础。
- 刘文文余晓芬范慧敏
- 关键词：计量学像散
- 非同步采样法的光栅纳米测量被引量：5
- 2008年
- 光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数。基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅信号采样精度,选用市场上货源丰富的、低成本的扫描式多通道模数转换卡,即可实现光栅纳米测量所需的高倍数细分。在测量的启停时刻对光栅信号进行精确测量,在测量过程中对光栅信号进行快速跟踪测量。实验表明,当采用15位200 kHz的A/D转换卡对20μm栅距的光栅信号进行非同步采样时,可以得到小于1 nm的测量分辨率及大于120 mm/s的测量速度。
- 徐从裕余晓芬
- 关键词：计量学非同步采样数据处理分辨率
- 泰伯效应对激光并行共焦显微系统成像影响的研究被引量：11
- 2009年
- 激光并行共焦显微系统采用微透镜阵列作为分光器件,将会不可避免地引入泰伯效应,造成沿光轴方向的多次成像。形成的这些像面中有且只有一个是正焦像面,它不仅没有边缘效应、能量更加集中,而且可以有效提高系统的测量分辨率。如何寻找正焦像面是削弱泰伯效应对测量影响的关键。实验中发现,通过增大微透镜阵列光栅常数可以增大泰伯距离,从而减弱离焦像面对测量的影响;并且设计了一种识别正、离焦像面的方法,能够准确找到正焦像面,保证了系统的测量分辨率。
- 余卿余晓芬程伶俐马文平
- 关键词：泰伯效应微透镜阵列
- 双模态超声波电机小波驱动的测量与控制
- 2008年
- 针对双模态USM在微纳米测控领域中的应用特点,设计单一的小波驱动模式代替现有的组合驱动模式.一个小波驱动波由8个39.6 kHz的正弦电压驱动波组成,其最高触发频率为5 kHz.小波驱动模式实现了双模态USM步距可调的步进控制功能.在定位控制应用中,选用栅距为20μm的光栅作为位置反馈传感器,采用作者研制的互补函数快速细分算法作为光栅纳米位移测量工具.在测量与驱动顺序控制条件下,双模态USM的最大驱动步距为2μm,工作台的最高驱动速度为10 mm/s.试验表明,选择适当的小波驱动参数,工作台可以获得纳米量级的驱动分辨率和定位精度.
- 徐从裕余晓芬
- 关键词：分辨率定位控制
- 基于像散原理的并行共聚焦探测曲线灵敏度研究被引量：2
- 2011年
- 为了高效、快速的实现微结构三维可视化,对基于像散原理并行共聚焦光学系统中探测曲线过零点灵敏度的影响因素进行了研究。从几何光学的角度,建立探测曲线过零点的灵敏度与柱面镜组参数之间的关系,然后利用Zemax对结论进行仿真,其结果提供了获得最佳柱面镜参数及其设计方法。同时,为了进一步提高探测曲线灵敏度,对已有的四象限法进行改进,提出了去对角四象限法,并在MatLab中对两种方法做了比较,其仿真结果证明去对角四象限法可以有效地提高探测曲线过零点的灵敏度。
- 范慧敏刘文文
- 关键词：灵敏度
