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西北工业大学基础研究基金(JC200826)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇纳米
  • 1篇纳米线
  • 1篇硅纳米线
  • 1篇银

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇何洋
  • 1篇苑伟政
  • 1篇王圣坤

传媒

  • 1篇化学工程师

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键工序研究
2013年
本文通过实验发现,硅片表面的洁净度和合适的刻蚀液浓度是成功应用银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键。总结出针对该法的一种性能可靠的简单清洗工艺。通过配制不同浓度的刻蚀液发现AgNO3的浓度在0.008-0.016mol·L-1范围内,HF浓度从4.0-5.5mol·L-1范围内可以成功制作出硅纳米线。
王圣坤苑伟政何洋
关键词：硅纳米线
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