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国家科技重大专项(2009ZX02010-17)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关机构：北京中电科电子装备有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇全自动
  • 2篇晶圆
  • 1篇可靠性
  • 1篇可靠性分析
  • 1篇划片
  • 1篇划片机
  • 1篇S曲线

机构

  • 2篇北京中电科电...

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
全自动晶圆划切设备之可靠性分析被引量：1
2011年
介绍了半导体全自动晶圆划切设备的总体结构和功能以及提高可靠性的一些方法,通过采用这些方法,将整体系统内各部分彼此的关系用图示表现,进而以表示出来的关系计算出可靠性。
张伟王宏智闫启亮
关键词：全自动晶圆可靠性
全自动晶圆划片机S运动曲线规划与分析被引量：1
2011年
针对全自动划片机运动控制系统的特点,对S运动曲线加减速算法进行了深入分析,推导出S曲线加减速的计算公式,并通过试验仿真进行验证,根据分析结果得出S曲线是一种适合全自动划片机高速高精度运动的加减速算法。
张伟闫启亮
关键词：全自动晶圆划片机S曲线
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