江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CXLX110292)
- 作品数:2 被引量:12H指数:2
- 相关作者:喻利花曹峻许俊华更多>>
- 相关机构:江苏科技大学更多>>
- 发文基金:江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺更多>>
- TiN/VCN多层膜的力学性能及摩擦磨损性能研究被引量:4
- 2013年
- 采用多靶磁控溅射技术,制备了TiN、VCN单层膜及调制比为1:1的系列调制周期的TiN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜研究了各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。研究表明:TiN/VCN多层膜以δ-NaCl面心立方结构为主;TiN/VCN多层膜的最大硬度值为28.71 GPa,约为按混合法则计算所得理论硬度值的1.23倍,并据此分析了TiN/VCN多层膜的致硬机理;TiN/VCN多层膜在室温下摩擦系数与TiN单层膜摩擦系数相近,但当环境温度为700℃时,摩擦系数约0.4,较TiN单层膜(0.52)低。TiN/VCN多层膜室温和高温下的磨损率相比TiN单层膜减小了约3×10-14m3/(N.m)。从晶体化学和热测量方法角度讨论了TiN/VCN多层膜的Magnéli相V2O5的润滑机制。
- 曹峻许俊华喻利花
- 关键词:TINVCN力学性能摩擦磨损性能
- TiCN/VCN多层膜的力学和摩擦磨损性能被引量:8
- 2013年
- 采用多靶磁控溅射技术,制备TiCN、VCN单层膜及一系列调制比为1的不同调制周期的TiCN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜,研究各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。研究表明:不同调制周期的TiCN/VCN多层膜的硬度围绕混合法则计算的硬度值上下波动,没有出现致硬现象。TiCN和VCN单层薄膜室温下的摩擦因数很低,TiCN/VCN多层膜调制周期较小时摩擦因数较高,调制周期大于10 nm时摩擦因数逐渐接近TiCN和VCN单层膜。700℃下,TiCN/VCN多层膜的摩擦因数主要取决于表面生成的TiO2和V2O5的共同作用,与TiCN相比,TiCN/VCN多层膜的高温摩擦因数较小。
- 曹峻许俊华喻利花
- 关键词:TICNVCN磁控溅射力学性能摩擦磨损性能