中国航空科学基金(2011ZE53055)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键工序研究
- 2013年
- 本文通过实验发现,硅片表面的洁净度和合适的刻蚀液浓度是成功应用银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键。总结出针对该法的一种性能可靠的简单清洗工艺。通过配制不同浓度的刻蚀液发现AgNO3的浓度在0.008-0.016mol·L-1范围内,HF浓度从4.0-5.5mol·L-1范围内可以成功制作出硅纳米线。
- 王圣坤苑伟政何洋
- 关键词：硅纳米线
- 仿生水黾机器人腿部接触角对其水面支撑力影响研究被引量：2
- 2013年
- 基于水黾腿部疏水原理,提出一种水上微小机器人腿部用钢丝制备方法,同时利用Young-Laplace方程对其漂浮机理进一步进行详尽的力学分析,即水黾腿部材料与水的接触角越大,能够获得水面提供的支撑力也越大。
- 胡培军田梦君尹恒许何洋
- 关键词：超疏水
- 离心芯片上虹吸阀的设计与制备被引量：1
- 2014年
- 实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相对于传统的MEMS工艺,这种方法大大节省了加工时间和成本。同时相对于大多数聚合物材料的疏水特性,PMMA的亲水性可以避免材料表面亲水改性问题,简化了虹吸阀制备的工艺流程。该虹吸阀性能稳定,结构简单,能实现片上流体控制,为更加复杂的芯片提供了一种可靠的阀及一种快速制备方法。
- 杨儒元苑伟政何洋
- 关键词：数控加工
