西北工业大学基础研究基金(JC200933)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
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- 相关领域：轻工技术与工程电子电信更多>>
- 基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作被引量：5
- 2012年
- 采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。
- 马志波姜澄宇任森苑伟政
- 关键词：谐振式压力传感器MEMSSOI
- 一种新型液/液光波导的模拟研究
- 2011年
- 提出了一种新型单模液/液渐变型光波导模型,理论依据是非极性液体在高强度电场下的克尔效应。采用了多物理场耦合软件对微纳流体微管道模型进行分析,微纳流体管道和纳米线电极结构尺寸对电场强度影响表明,优化设计后的液体微管道可以实现光波导功能。
- 郭海文黎永前丁丽娟叶芳
- 关键词：电场强度
