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北京市自然科学基金(3082015)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：张朝辉刘思思刘俊铭更多>>
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相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇黏着力
  • 1篇弯月面
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微平面
  • 1篇机电系统
  • 1篇表面能
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇北京交通大学

作者

  • 1篇刘俊铭
  • 1篇刘思思
  • 1篇张朝辉

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微平面接触分离中弯月面力的计算被引量：6
2010年
微平面间黏着力对微机电系统(MEMS)非常重要,常是决定其能量损耗乃至寿命长短的最主要因素.MEMS中的黏着力主要来源之一就是介于两互相接触平面间的弯月面力.弯月面力主要取决于相互接触的两平面间形成的弯月面形状.本文通过分析两微小平面在分离过程中弯月面形状的变化,得到在不同表面亲水/疏水性能、初始液面高度、分离距离等条件下的弯月面形状,计算得出在不同初始条件下断裂高度和弯月面力的数值以及随之变化的规律,为MEMS的性能分析和寿命计算提供依据。
刘思思张朝辉刘俊铭
关键词：微机电系统黏着力表面能
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共1页<1>
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