国家自然科学基金(10474114)
- 作品数：2 被引量：9H指数：2
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- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 硅微压电超声换能器的设计与制作被引量：6
- 2006年
- 介绍了一种用ZnO薄膜作为压电层的硅微压电式超声换能器(PMUT).该硅微压电换能器的振动基膜采用LPCVD制作的氮化硅薄膜和PECVD制作的二氧化硅形成的复合振动膜结构.文中运用有限元方法对该硅微压电换能器的结构进行了模拟和计算,并进行了预应力对硅微换能器共振频率的影响的分析.实验测得硅微压电式换能器的共振频率为71.36kHz.本文还使用该硅微超声换能器在油中进行了初步的共振频率点收发信号的实验,接收实验测得信号峰峰值为9mV左右,发射实验标准水听器接收信号峰峰值为0.8mV左右.
- 郝震宏汤亮乔东海汪承灏
- 关键词：声成像ZNO压电薄膜预应力分析
- 一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制被引量：4
- 2005年
- 给出了以磷掺杂的多晶硅为振动膜的电容式MEMS传声器的研制过程。从等效电路模型出发,研究了电容式MEMS传声器的振动特性和灵敏度,给出了传声器灵敏度随振动膜张力、膜与背板间的空气隙厚度、背板声孔大小及背板声孔所占面积而变化的解析表达式。结合硼掺杂硅/硅复合背板结构MEMS传声器,提供了参考制作工艺流程。样品测试在1kHz频率处的灵敏度达到-60dB(相对于1V/Pa)。
- 乔东海田静徐联汪承灏
- 关键词：电容式传声器MEMS器件多晶硅薄膜
- 40kHz硅微压电超声接收换能器的研制
- 本文介绍了一种MEMS压电式超声换能器(PMUT)的制作方法,该换能器可以用于空气中的超声测距、超声定位等领域。MEMS压电超声换能器的振动膜支撑层为氮化硅薄膜,ZnO薄膜为压电层。运用有限元方法计算了MEMS压电超声换...
- 王孟娇郝震宏乔东海
- 关键词：ZNO压电薄膜匹配电路
- 文献传递
- 一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制
- 给出了以磷掺杂的多晶硅为振动膜的电容式MEMS传声器的研制过程。从等效电路模型出发,研究了电容式MEMS传声器的振动特性和灵敏度,给出了传声器灵敏度随振动膜张力、膜与背板间的空气隙厚度、背板声孔大小及背板声孔所占面积而变...
- 乔东海田静徐联汪承灏
- 关键词：电容式传声器MEMS器件多晶硅薄膜
- 文献传递
- 硅微压电超声换能器阵列设计
- ＜正＞1．引言超声成像是目前超声学中最活跃分支。现在常用的超声B扫描成像（俗称B超）已成为医学上一个很重要的诊断方法。B超是用一维阵列实现二维成像。而目前超声成像与其它成像方法一样,正在向三维立体成像方向发展,超声三维立...
- 郝震宏邓方青汤亮乔东海
- 关键词：换能器阵列设计B超超声成像
- 文献传递
