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表面工程技术国家级重点实验室基金(BM0501)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：陈学康蒋钊更多>>
相关机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇应力
  • 1篇退火
  • 1篇微结构
  • 1篇快速退火
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射沉积
  • 1篇AL

机构

  • 1篇中国科学院兰...

作者

  • 1篇蒋钊
  • 1篇陈学康

传媒

  • 1篇真空与低温

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
快速退火对溅射沉积Al膜微结构及应力的影响被引量：1
2008年
用直流溅射法在聚酰亚胺(PI)基底上制备了300 nm厚的Al膜,并进行快速退火(RTA)处理。用X射线衍射、扫描电子显微镜和曲率法对Al薄膜的微结构及应力随退火温度和时间的变化进行了研究。结果表明,采用快速退火可以使其压应力松弛,甚至转变成张应力。
蒋钊陈学康
关键词：快速退火AL微结构应力
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共1页<1>
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