国家高技术研究发展计划(2004AA420040)
- 作品数：7 被引量：44H指数：5
- 相关作者：荣伟彬孙立宁谢晖丛明刘云更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学大连理工大学中国科学院自动化研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划大连市科技计划项目长江学者和创新团队发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于四象限探测器的掩模版对准检测与控制被引量：3
- 2007年
- 提出一种基于可编程控制器和四象限探测器的集成电路掩模版对准系统.该系统采用两个四象限探测器构成对准检测装置,实现对掩模版对准误差的实时检测.通过合理选择对准检测装置的安装位置与姿态,实现对准误差与掩模版运动之间的解耦.对准过程中,根据检测到的对准误差,由可编程控制器对传输机械手的位置和姿态进行调整,从而改变掩模版相对于对准检测装置的位置和姿态.对准控制采用阶梯步长逐步逼近算法,并且引入了机械手姿态调整后的补偿控制,以提高对准效率.实验结果表明,该检测与控制系统工作安全可靠,对准速度快,精度高.
- 汪建华徐德刘云赵晓光王秀青谭民
- 关键词：四象限探测器掩模版
- 硅片处理预对准系统的研究被引量：8
- 2007年
- 介绍了所研制的12 in硅片预对准系统.首先,根据硅片预对准系统的任务和流程设计了系统的结构.其次,设计了预对准检测算法,采用最小二乘圆法对硅片圆心进行定位;提出了检测硅片缺口的边缘变化率法和计算缺口基准点的曲线拟合法.对预对准系统进行了误差分析.最后,采用光学式预对准方法,对12 in硅片进行了预对准实验研究.实验结果表明硅片缺口的重复定位精度小于4.8μm,预对准时间为23 s,满足设计要求.
- 荣伟彬宋亦旭乔遂龙孙立宁赵雁南李春江
- 新型集成三维微力检测微夹持器被引量：8
- 2007年
- 提出了一种以压阻检测技术为基础,压电陶瓷为微驱动元件,具有两级位移放大且集成三维微力传感器的微夹持器。采用有限元软件对微操持器放大机构和传感器弹性体进行分析,并给出了传感器的标定方法。实验证明,该传感器具有无耦合、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求,传感器最大量程为10 mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2μN;同时也验证了所设计的微夹持器的合理性和实用性,当压电陶瓷驱动电压取200 V时,微夹持器的张合量达到最大值274μm。
- 王家畴荣伟彬孙立宁谢晖陈伟
- 关键词：三维微力传感器压电陶瓷解耦微夹持器有限元分析
- 基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现被引量：10
- 2006年
- 在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴运动控制器为例介绍了PMAC在硅片传输机器人控制器中的开发与应用,并以该公司的PMAC2-PC104型控制卡为核心,结合电气和气动回路,设计和建立了R-θ型(径向直线运动型)硅片传输机器人的开放式控制器,实现了硅片传输机器人的运动控制。
- 丛明张士军周玉敏金立刚
- 关键词：硅片传输机器人PMAC机器人控制器
- 硅片传输单元洁净系统的研制被引量：7
- 2006年
- 在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片。为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法,对洁净系统内部的硅片传输机器人区域进行了流场的模拟分析。该洁净系统已达到设计要求。
- 丛明杜宇沈宝宏
- 一种新型的掩膜管理控制系统的研制
- 2007年
- 研制了一种与掩膜光刻机相配套的新型掩膜管理控制系统。系统硬件由1个4自由度机械手、2个版库、粗预对准机构、精细预对准机构、PIE控制器和伺服驱动器等构成；系统软件由基于VC的上层管理程序以及基于梯形图的底层流程控制程序构成，其中上掩膜版和卸掩膜版是流程控制的主要组成部分。介绍了四象限光电探测器的对准工作原理和掩膜版的粗、精细预对准方法，实验测试了上、卸掩膜版的节拍，粗、精细预对准时间和掩膜版经过精细预对准后的重复定位精度，讨论了激光器和四象限光电探测器相对位姿的标定方法，并指出了该系统的特点。实验结果表明，该系统性能稳定，主要指标能够满足掩膜光刻机的实际生产要求。
- 刘云徐德汪建华王秀青赵晓光谭民
- 关键词：掩膜版控制系统光刻机梯形图
- 用于MEMS传感器批量制造的微装配系统(英文)被引量：9
- 2006年
- 手工操作限制了MEMS传感器的批量生产.为了降低生产成本,同时提高传感器的产品质量,研制了柔性自动阳极键合系统.该系统包括一系列功能模块,包括精密定位系统、显微视觉子系统、柔性微操作手、加热系统、键合夹具、物流系统以及其它的附属系统.通过模块重构和调整,可实现不同尺寸规格传感器的键合.基于显微视觉以及微装配系统的特性,提出了基于小波变换的自动调焦清晰度评价函数,同时提出了基于改进史密斯预估器的用于克服视觉延迟的伺服控制结构.集成一维微力传感器的微操作手可实现高精度和无损操作.为了实现自动化操作,开发了包括任务规划和实时控制功能的控制系统.试验验证了该系统的自动键合功能.
- 荣伟彬谢晖孙立宁
- 关键词：MEMS传感器柔性装配系统
