教育部科学技术研究重点项目(109102-A20202)
- 作品数:2 被引量:20H指数:2
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- 相关机构:浙江大学上海交通大学更多>>
- 发文基金:教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程更多>>
- 集成微泵式微流控芯片的设计与测试
- 介绍了集成微型无阀泵的激流控芯片的结构及工作原理,针对微型无阀泵进行了数学建模及系统仿真,测试了集成化微泵的流动特性,确定了基本控制参数,并将仿真与试验结果进行比较分析。将集成化芯片进行样品检验测试,证明了微泵在微量化学...
- 傅新谢海波杨华勇
- 关键词:微机电技术微型无阀泵流场仿真
- 文献传递
- 集成微泵式微流控芯片的设计与测试被引量:3
- 2005年
- 介绍了集成微型无阀泵的微流控芯片的结构及工作原理,针对微型无阀泵进行了数学建模及系统仿真,测试了集成化微泵的流动特性,确定了基本控制参数,并将仿真与试验结果进行了比较分析.将集成化芯片进行了样品检验测试,证明了微泵在微量化学检测过程中实现自动换样及清洗的功能及实用价值.
- 傅新谢海波杨华勇贾志舰方群
- 关键词:微型无阀泵系统仿真流动特性微泵
- 基于玻璃湿法刻蚀的微流控器件加工工艺研究被引量:18
- 2003年
- 介绍了以玻璃为基体材料的微加工工艺流程,重点研究了玻璃湿法刻蚀工艺,选择多种不同成分的刻蚀剂进行了对比性刻蚀试验,同时研究了刻蚀温度、搅拌方式和清洗间隔时间等多种刻蚀条件对刻蚀效果的影响,研究主要以高刻蚀速率的深度刻蚀以及高表面质量的毛细管道刻蚀两种典型应用为目标。对比与分析了多种试验结果并对其适用范围进行了适当的评价,为基于玻璃材质的微流控器件加工工艺提供了基本选择方案及实际经验曲线。
- 谢海波傅新刘玲杨华勇徐东
- 关键词:湿法刻蚀MEMS微机电系统
- 微型混合器的结构设计及实验研究
- <正> 微流体系统包括微量流体的传感、输送、检测和控制,是MEMS的一个重要分支.微型混合器是实现不同试剂或试样分子级混合的微流控器件系统,混合处理的目的是降低非均匀性.微型混合器根据其工作原理的不同,可分为静态混合器和...
- 杨华勇刘素芬傅新
- 关键词:微流体
- 文献传递
- Micro-DPIV技术在微型无阀泵瞬变流场检测中的应用
- <正> 微型泵作为微流动系统的动力源,是微流动系统发展水平的重要标志.其中微型无阀泵以其结构简单、加工成本低而备受关注,同时该微泵可以进行生物大分子类流体的输送,因此在生化检测和药物控释等领域具有较强的集成应用价值.微型...
- 傅新谢海波杨华勇
- 关键词:微型无阀泵
- 文献传递