教育部科学技术研究重大项目(0216)
- 作品数：4 被引量：25H指数：3
- 相关作者：温志渝刘玉奎温中泉张流强梁玉前更多>>
- 相关机构：重庆大学重庆工学院中国电子科技集团更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重大项目国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 真空微电子加速度传感器结构的有限元分析被引量：4
- 2003年
- 论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理 ,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析 ,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线。
- 彭述成温志渝温中泉潘银松李霞
- 关键词：真空微电子加速度传感器有限元分析场致发射力学量传感器
- MEMS微加速度传感器的系统级仿真
- 概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、实现关键及各自的优缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真。
- 刘妤温志渝张流强梁玉前
- 关键词：微加速度传感器系统级仿真宏模型
- 文献传递
- 微加速度传感器的研究现状及发展趋势被引量：10
- 2004年
- 基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.
- 刘妤温志渝张流强刘玉奎梁玉前
- 关键词：微加速度传感器MEMS
- 真空微电子压力传感器的研制被引量：11
- 2004年
- 提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器。对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能。采用硅的干、湿法结合的腐蚀、氧化锐化和真空键合等工艺技术,成功地研制出传感器实验样品。对传感器实验样品的参数进行了测试分析,其场致发射阴极锥尖阵列密度达24000个/mm2,起始发射电压为0.5～1V,反向电压≥25V,当正向电压为5V时,单尖发射电流为0.2nA,压力灵敏度为0.1μA/KPa。
- 温志渝温中泉徐世六刘玉奎张正元陈刚杨国渝
- 关键词：压力传感器过载保护各向异性腐蚀
- MEMS微加速度传感器的系统级仿真
- 2005年
- 概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
- 刘妤温志渝张流强梁玉前
- 关键词：MEMSCAD微加速度传感器系统级仿真宏模型
