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等离子体物理国防科技重点实验室基金资助项目(9140C6805020907)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇丁基
  • 1篇色谱
  • 1篇叔丁基
  • 1篇气相
  • 1篇气相沉积
  • 1篇气相色谱
  • 1篇相色谱
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇光谱
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱
  • 1篇二叔丁基
  • 1篇铍
  • 1篇MOCVD

机构

  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇罗炳池
  • 1篇吴卫东
  • 1篇罗江山
  • 1篇张吉强

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MOCVD方法制备BeH_2薄膜
2012年
采用二叔丁基铍(t-Bu2Be.Et2O)蒸气在加热的衬底上以热解的方式制备透明的BeH2薄膜。通过加热BeH2薄膜并借助氢气气相色谱仪探测到了薄膜释放的H2。X射线光电子能谱分析表明,薄膜表面层几乎完全被氧化成BeO。傅里叶变换红外光谱显示存在强烈的BeHBe键弯曲振动吸收峰。因此,二叔丁基铍在加热的基片上以分解的方式能够制备出BeH2薄膜。
张吉强罗江山罗炳池吴卫东
关键词：化学气相沉积气相色谱红外光谱
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