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国家自然科学基金(5047051)
作品数:
1
被引量:10
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相关作者:
刘金银子
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唐华
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2013
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磁控溅射MoS_2/W复合薄膜的微结构与摩擦学性能研究
被引量:10
2013年
采用磁控溅射法,用纯MoS2/W双靶在模具钢Cr12和硅基片上溅射MoS2/W复合纳米薄膜,通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析。采用UMT-2型微摩擦磨损试验机在大气(相对湿度30%~45%)和室温(20~25℃)环境下评价薄膜的摩擦磨损性能。结果表明:MoS2/W复合薄膜组织致密,主要生长晶向为(002)晶向,摩擦因数低,摩擦学性能优于纯MoS2膜,且耐磨寿命高、摩擦稳定性好、承载能力大。
孙建荣
李长生
唐华
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刘金银子
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MOS2
W
磁控溅射
摩擦磨损性能
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