国家高技术研究发展计划(2006AA10Z215)
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 相关作者：雷声郭希山潘敏陈裕泉陈大竞更多>>
- 相关机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于电喷高分子薄膜的SAWR湿敏传感器研究
- 2010年
- 研究了一种具有高灵敏度、响应快速、重复性好的微型湿敏传感器,可用于植株叶面湿度检测。传感器以单端声表面波谐振器(SAWR)作为基本元件,制备在零温度系数的ST切型石英基底上以消除温度影响,SAWR谐振中心频率为433MHz。使用静电喷雾的方法在器件表面形成微纳尺度的含硅聚电解质高分子粒子簇薄膜作为感湿材料。结果表明,所研制湿敏传感器具有相对湿度检测范围广(10%～97%)、灵敏度高(500Hz/%RH)、响应时间短(5s),测量精度高(可达3%)等优点。
- 郭希山雷声李扬朱松明
- 关键词：湿敏传感器静电喷雾声表面波谐振器
- 基于气液相转变效应的SAW气体传感器被引量：3
- 2007年
- 针对传统涂敷敏感膜的声表面波(SAW)气敏传感器存在成膜困难、选择性差、重复性差以及再生性差等问题,提出了一种基于气体气液相转变效应来检测痕量挥发性有机气体(VOCs)的SAW气体传感器.建立了气液相转换效应模型,推导出传感器灵敏度与温度、有机蒸气质量分数之间的函数关系,并建立了VOCs液相凝聚层负载下的SAW波传模型,仿真计算了波传频散和波传衰减,从理论上阐释了传感器具有高灵敏度.同时引入气相色谱(GC)分离柱作为无敏感膜涂敷SAW气体传感器的选择性虚拟列阵,以解决这种高灵敏度气体传感器用于混合VOCs测量时的选择性问题.初步的实验结果表明,该传感器系统具有灵敏度高(可检测质量分数为10-9的VOCs)、分析时间短、选择性好、微型化、成本低等优势.
- 郭希山吴坚王立人
- 关键词：气体传感器声表面波挥发性有机气体
- 基于MWCNTs/Nafion复合膜的高性能声表面波湿敏传感器研究被引量：6
- 2011年
- 湿度检测广泛应用于工业、医疗等各个领域,对高性能湿度传感器的需求日趋迫切。首先对声表面波传感器敏感机理进行了深入的分析,得到影响其性能的主要因素。在此基础上研制出一种以多壁碳纳米管(MWCNTs)和Nafion复合材料为湿敏膜,高频声表面波谐振器为换能元件的高性能湿敏传感器。实验表明,制得的湿敏传感器在宽湿度范围内(10%RH～80%RH)具有很高的检测灵敏度(大于300 kHz%RH),良好的线性度及快速的响应速度(<10 s)。并通过实验结果进一步讨论了复合材料中MWCNTs和Nafion对传感器性能的影响。
- 雷声陈大竞陈裕泉潘敏
- 关键词：湿敏传感器声表面波
