应用光学国家重点实验室开放基金(09Q03FQ090)
- 作品数：5 被引量：34H指数：3
- 相关作者：金春水王丽萍马冬梅张宇卢增雄更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院东北电力大学更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 可见光移相点衍射干涉仪的空气扰动误差分析被引量：2
- 2012年
- 为了提高可见光移相点衍射干涉仪的测量精度， 对空气扰动误差的分析以及有效的抑制是十分必要的。 利用自行设计的十三步移相算法与传统的五步移相算法对空气扰动误差进行了理论分析与仿真计算，分析结果证明了新算法的优越性，并且通过对干涉仪的空气扰动误差的分析，最终得到了干涉仪工作的环境控制条件， 如果采用十三步移相算法， 保证空气温度变化控制在±0.005 ℃以内，压强变化控制在±1 Pa 以内，水汽压变化控制在±5 Pa 以内，温度梯度变化控制在 0~0.01 ℃范围内，压强梯度变化控制在 0~2 Pa 范围内，最后再对多次测量结果取平均，则空气扰动误差引起的位相误差将在测量精度允许的范围内。 在现有的实验条件下搭建了原理实验装置，实验结果表明：十三步算法和五步算法的结果相近，但十三步算法的重复性优于五步算法。 采用十三步算法，在所构建的实验装置上实现了 RMS 值优于 λ/10 000（λ=632.8 nm）的检测重复性。
- 张宇金春水马冬梅王丽萍
- 关键词：光学检测
- 可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析被引量：6
- 2012年
- 为了实现对极紫外光刻投影物镜非球面反射镜的超高精度检测,引入了可见光移相点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并采用自行设计的十三步移相算法和传统五步移相算法对可见光移相点衍射干涉仪的测试误差进行了详细的理论分析及仿真计算,分析结果证明了十三步算法优越性的同时,也给出了要实现干涉仪的超高检测精度应该限定的测试组件的性能参数。为了验证可见光移相点衍射干涉仪及十三步算法的切实可行性,搭建了原理实验装置,通过40次重复测量取平均值的方法获得被检元件面形。实验结果表明:十三步算法和五步算法的结果相近,但十三步算法的重复性优于五步算法。采用十三步算法,在所构建的实验装置上实现了RMS值优于λ/10 000(λ=632.8 nm)的检测重复性。
- 张宇金春水马冬梅王丽萍
- 关键词：误差分析光学检测
- 极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究被引量：6
- 2012年
- 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度的误差源引入到干涉图中进行整体分析,得到干涉仪的检测精度及波面重复精度,为了验证双光纤相移点衍射干涉仪的切实可行性及理论分析结果的正确性,搭建了原理实验装置,对同一被检光学系统进行了512次测量,将其分成8组,最终8组测量的波面重复精度能够达到0.13 nm,优于λ/4000。
- 张宇金春水马冬梅王丽萍
- 关键词：光学检测
- 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析被引量：24
- 2010年
- 相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度,其中小孔的直径是最主要的因素,在实际加工前,需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论,分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下,小孔直径大小对衍射波面质量的影响。入射光的线性偏振,给衍射波面中引入了像散和彗差。分析计算得出,为了获得数值孔径(NA)为0.1,相对于理想球面波的均方根(RMS)偏差不大于0.005λ(λ=13.55 nm),强度均匀性为0.4的参考球面波,对90 nm厚的小孔选择直径大小为70 nm较为适宜。
- 卢增雄金春水张立超王丽萍
- 关键词：光学检测矢量衍射
- 点源离焦图像位相复原方法
- 2011年
- 为了实现利用点源传递函数测试仪器在测量可见光镜头光学传递函数的同时测出镜头出瞳的波前,采用了一种基于点源目标离焦图像的位相复原算法。该方法无需改变点源传递函数测试仪器的硬件设置,直接利用在传递函数测试过程中,通过改变位于镜头后焦面附近的显微镜与CCD的位置所采集的多幅离焦图像及改进的GS算法实现离焦面与镜头出瞳面光场的位相复原。对多幅离焦图像进行计算求取位相值,最后展开出瞳面的位相得到波前。为了验证波前计算结果的正确性,用干涉仪测出样品镜头的波前,将两个测试结果相比较,结果表明:点源位相复原波前与干涉测量波前相接近,该算法可行。
- 陈土泉马冬梅
- 关键词：傅里叶光学离焦图像
