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国家高技术研究发展计划(2006AA042327)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：傅星陈治胡晓东高思田胡小唐更多>>
相关机构：天津大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇动态特性
  • 1篇亚像素
  • 1篇像素
  • 1篇块匹配
  • 1篇MEMS
  • 1篇测量技术

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇胡小唐
  • 1篇高思田
  • 1篇胡晓东
  • 1篇陈治
  • 1篇傅星

传媒

  • 1篇天津大学学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米精度MEMS平面运动测量技术被引量：1
2008年
为实现MEMS谐振器在周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数的纳米精度测量,提出了一种基于块匹配的最优根值亚像素运动估计测量方法.该方法在双线性插值细分技术基础上,将物体亚像素位移的定位转换为求解方程的最优根值的方式,通过最小均方差法获得物体运动位移的纳米级分辨力测量结果.该算法避免了传统算法中由于迭代所引起的大量运算.利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析,得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线.实验结果表明,采用该方法得到的平面位移测量分辨力为5 nm.
高思田陈治胡晓东傅星胡小唐
关键词：动态特性块匹配亚像素
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