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教育部科学技术研究重大项目(313007)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇射频溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性能
  • 1篇ZNO

机构

  • 1篇北方工业大学

作者

  • 1篇赵全亮
  • 1篇苏德志

传媒

  • 1篇北方工业大学...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
(110)和(002)择优取向ZnO薄膜的制备及光学性能研究
2014年
运用射频溅射法在Si和LaNiO3/Si衬底上分别制备了高度(002)和(110)取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征,发现ZnO/LaNiO3/Si薄膜的(110)取向度高达96%,ZnO/Si薄膜为(002)择优取向,两种薄膜表面均致密平整,晶粒尺寸小于80nm.光致发光结果表明,ZnO/LaNiO3/Si薄膜的光致发光峰主要为带边发射的紫外光,而ZnO/Si薄膜的光致发光峰主要为过量氧导致的缺陷引起的缺陷发光峰.因此,采用LaNiO3薄膜作为ZnO在Si衬底上生长的过渡层,能够有效抑制缺陷发光,改善ZnO薄膜的发光性能.
苏德志赵全亮李中翔
关键词：氧化锌薄膜射频溅射光学性能
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共1页<1>
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