国家科技重大专项(2009ZX02001-003)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 相关作者：田凌苏孝钐李搏邹龙庆李垒更多>>
- 相关机构：清华大学重庆邮电大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 面向自动测试的集成电路制造装备测试模型被引量：1
- 2012年
- 对于典型的集成电路制造装备,提出了一种面向自动测试系统的多层次测试模型;使用层次化建模方法进行建模,将典型集成电路制造装备的测试模型按层次划分为装备级、子系统级和仪器级;利用XML建立了模块化的测试模型的描述,并使用引用的方式实现测试模型的重用;提出了使用时间信息和GUID确定被引用测试模型可用性的算法;该模型被用于具有工艺腔室的典型集成电路制造装备中,提高了测试模型的重用性,并拓展了对不同层次被测对象的测试能力。
- 苏孝钐田凌
- 关键词：自动测试系统
- 基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计被引量：3
- 2012年
- 设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。
- 王巍邹龙庆徐华李搏贾培发李垒
- 关键词：半导体工艺设备
- 自动测试系统中面向信号的仪器UUT建模方法被引量：3
- 2012年
- 为了实现面向信号的仪器UUT测试,分析了在自动测试系统中仪器作为被测对象(UUT)时的不同种类,并提出了针对不同仪器UUT的测试流程。使用面向信号的方法建立了UUT模型,通过提出UUT中针脚的方法实现了模型中信号单元的发送、接收所使用的信号通道及各信号通道使用的通信协议参数与信号的高效匹配。提出了模型的限定性描述并利用XML实现了UUT模型的存储,提高了不同测试应用间UUT模型的移植性。
- 苏孝钐田凌
- 关键词：自动测试系统仪器测试面向信号
- 基于集成电路制造装备仿真平台的测试系统设计
- 2013年
- 基于测试集成电路制造装备仿真平台软件仿真功能的正确性、稳定性和可靠性,开发一种可用于测试仿真设备功能的软件系统。该系统采用分层的架构设计方法,提供测试信息的静态配置和动态运行两种工作模式,有效地解决了不同设备测试任务多样化的问题。该软件架构具有一定的通用性和易扩展性,可作为多任务复杂测试系统的一种通用架构。同时还设计了单命令测试、多命令随机测试、多命令逻辑测试3种类型的测试方法,以提高测试灵活性。运用多线程技术,做合理的线程优化处理,解决了系统运行效率低和通信混淆问题。
- 李春光黄利平田凌许霞
- 关键词：测试系统软件架构多线程集成电路
