国家自然科学基金(60304019)
- 作品数：4 被引量：18H指数：2
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- 相关机构：中国科学院浙江大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响被引量：2
- 2007年
- 根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响,建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型。通过电学模拟,分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响。结果表明,当传感器受阶跃信号的冲击时,可靠工作范围随极板倾斜程度的增大而减小,并且模拟结果还表明,在欠阻尼情况下传感器的可靠工作范围比临界阻尼或过阻尼情况下要小。
- 吴浩车录锋王俊杰王跃林
- 关键词：加速度传感器阻尼阶跃响应
- 一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析被引量：2
- 2007年
- 提出一种铰链式结构的高量程加速度传感器,该结构可使加速度传感器在保持一定灵敏度的情况下大大提高器件固有频率,从而在更宽的频带内真实地反映冲击过程的加速度信号波形。建立简化模型和改进模型分析该加速度计的力学性能,并用ANSYS模拟验证两种模型的计算结果。其中改进模型考虑了质量块的变形以及梁和铰链的质量影响,提高了器件固有频率的计算精度,计算结果更接近于ANSYS分析结果。最后由模拟分析数据得出该加速度计结构参数的优化。
- 卢云徐志农车录锋
- 石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究被引量：1
- 2007年
- 针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。
- 王俊杰车录锋吴浩王跃林
- 关键词：MEMS加速度传感器检测电路分辨力噪声
- 铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟被引量：13
- 2007年
- 给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整体结构的振动模态有一定的影响,封装结构同一振型的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大,但是灌封胶弹性模量很小时(E≤1 GPa)会导致加速度传感器信号失真。模拟结果表明,可以选择弹性模量足够高的材料(E>9 GPa)作为高冲击加速度传感器的灌封材料。
- 车录锋卢云徐志农
- 关键词：微加速度传感器封装有限元模拟
