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强流离子束流聚焦状态的数值模拟: 2015年; 结合空间电荷透镜的原理图以及离子束流的磁流体运动方程对离子束流聚焦状态进行了理论研究。采用层流非碰撞模型数值计算了离子束流不同初始半径以及不同入射角的束流出射角、焦距以及最小焦斑半径。理论分析了能散度、色散像差等因素对束流最小焦斑半径的影响。在离子束流遵循能量和角动量守恒的原则下,对不同入射角度的离子束流的束流最大半径进行了模拟计算。研究表明,束流入射角度增大,会聚角和最小焦斑半径减小,焦距增大。束流半径增大,会聚角、焦距和最小焦斑半径都增大。最佳会聚角所在的平滑区域内束流的发散度以及能散度对最小焦斑半径的影响较大。束流发散度或者能散度的增加,都能导致最小焦斑半径的增大。入射角度绝对值相同的束流,束流最大半径相同。; 张凤娟张潮海; 关键词：焦距

等离子体尺寸对放电极紫外光源影响被引量：4: 2013年; 计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2％带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3～6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。; 赵永蓬徐强李琦王骐; 关键词：毛细管放电 Z箍缩

毛细管放电EUVL光源演示装置被引量：1: 2010年; 极紫外光刻(EUVL)技术能突破30 nm技术节点、可应用于大规模工业生产,是下一代光刻技术的核心之一。极紫外(EUV)光源是EUVL的源头,寻找可满足EUVL的合适光源是解决问题的关键,世界上许多发达国家都在积极探索EUVL光源的研究。属于4种气体放电方式之一的毛细管放电具有较高的能量转换效率,将毛细管放电装置应用于EUV光源研究存在很多优势。基于国家长期发展战略的需要和紧跟世界科技前沿的策略,我国建立了国内首台毛细管放电EUVL光源演示装置。经放电试验和测谱分析,装置可满足EUVL光源研究的需要。; 张兴强王骐; 关键词：极紫外光刻毛细管放电

Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究被引量：3: 2013年; 理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性;实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm(2%带宽)动态特性.理论和实验结果表明:不同放电电流条件下,存在最佳气压值,最佳气压随着电流的增加而增加;同时,电流增加时,13.5 nm(2%带宽)辐射光强峰值时刻减小.; 赵永蓬徐强肖德龙丁宁谢耀李琦王骐; 关键词：毛细管放电磁流体力学

极紫外光刻光源关键技术研究: 极紫外光刻是以13.5nm(2%带宽)极紫外(EUV)自发辐射为光源的下一代光刻技术。目前国际上这一光刻技术的发展,主要是采用放电等离子体和激光等离子体获取13.5nm辐射光输出。本文介绍了通过本课题组采用的Xe放电介质...; 赵永蓬徐强李琦王骐; 关键词：毛细管放电; 文献传递

放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源被引量：3: 2010年; 描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30 kV,输出电流峰值大于40 kA,电流脉冲宽度200 ns,满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。; 吕鹏刘春芳张潮海赵永蓬王骐贾兴; 关键词：Z箍缩放电等离子体磁脉冲压缩

毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响: 2014年; 极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。; 徐强赵永蓬李小强李琦王骐; 关键词：毛细管放电 Z箍缩

Optical design for EUV lithography source collector被引量：2: 2011年; Wolter I collector is the best collector for extreme ultraviolet (EUV) lithography, which has a series of nested mirrors. It has high collection efficiency and can obtain more uniform intensity distribution at the intermediate focus (IF). A new design with the calculation sequence from the outer mirror to the inner one on the premise of satisfying the requirements of the collector is introduced. Based on this concept, a computer program is established and the optical parameters of the collector using the program is calculated. The design results indicate that the collector satisfies all the requirements.; 张树青王骐祝东远李润顺刘畅; 关键词：光学设计光刻技术 EUV 光学参数

13.5 nm放电Xe等离子体极紫外光源被引量：4: 2018年; 搭建了极紫外光源实验装置,获得了中心波长为13.5 nm的Xe等离子体极紫外的辐射光谱。测量了极紫外辐射的时间特性,用多次箍缩理论解释了光脉冲的多峰结构。获得了主脉冲电流幅值、Xe气流量、陶瓷管内径、等离子体长度、辅助气体等实验参数对极紫外辐射强度的影响规律。搭建了重复频率为1 kHz的13.5 nm极紫外光源样机,介绍了样机的电源系统、放电系统、去碎屑系统和光收集系统的基本情况,并给出了光源样机的调试结果。; 赵永蓬徐强李琦王骐; 关键词：X射线光学放电等离子体 XE 极紫外光刻

Ar气气压对毛细管放电软X光激光输出的影响: 2013年; Ar气气压是毛细管放电软X光激光研究中的关键参量,其对激光的产生机理和输出等发挥重要的作用。本文通过系统地研究Ar气气压对激光输出的影响,发现当Ar气气压从38 Pa升高到65 Pa时,激光信号的最大输出值确实从~17 V提高到~18.4 V。但前提条件是适当地增大预脉冲电流,并适当地延长预–主脉冲延时,使主脉冲电流能够更充分地利用良好的预电离等离子体状态,获得增益系数较大的激光介质。这些研究工作对进一步优化放电参量,提高激光的输出功率等具有重要的意义。; 张兴强王骐; 关键词：激光技术毛细管放电软X光激光激光输出

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