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山东省自然科学基金(F11093)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：谢广文赵程李世直彭红瑞更多>>
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相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇涂层
  • 1篇PCVD
  • 1篇沉积电压

机构

  • 1篇青岛化工学院

作者

  • 1篇彭红瑞
  • 1篇李世直
  • 1篇赵程
  • 1篇谢广文

传媒

  • 1篇青岛化工学院...

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
沉积电压对辅助加热PCVD-TiN涂层的影响
2000年
研究了不同的沉积电压对辅助加热式PCVD -TiN涂层的影响。实验证明 ,提高沉积电压可以细化TiN涂层的柱状晶结构 ,增加TiN涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内 。
赵程彭红瑞谢广文李世直
关键词：PCVD沉积电压氮化钛涂层
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共1页<1>
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