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广东省教育部产学研结合项目(2006090304012)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：徐晓飞代朋磊丛明更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
发文基金：广东省教育部产学研结合项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇IC制造

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇丛明
  • 1篇代朋磊
  • 1篇徐晓飞

传媒

  • 1篇机器人技术与...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
面向IC制造的轨道导引车系统
2008年
介绍面向IC制造的轨道导引车系统,综述该系统的发展历史及国内外的研究成果,分析轨道导引车的组成结构和工作原理,并对轨道设计技术、连续给电技术、定位技术、死锁避免技术和派遣技术五个关键技术进行探讨。
丛明徐晓飞代朋磊
关键词：IC制造
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