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中国航空科学基金(2006ZE18012)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：王宇张晋宽陈勇更多>>
相关机构：西安飞行自动控制研究所西北工业大学更多>>
发文基金：中国航空科学基金更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇表面处理
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇超光滑
  • 1篇超光滑表面
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇西北工业大学
  • 1篇西安飞行自动...

作者

  • 1篇陈勇
  • 1篇张晋宽
  • 1篇王宇

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
超光滑基片等离子体表面处理研究
2009年
通过对射频功率、反应室压强和处理时间等参量进行实验,系统研究了等离子体处理对基片表面状态的影响.结果表明,等离子体处理可以溅射去除加工变质层,降低表面粗糙度,提高基片表面洁净度和表面能.优化后的参量证实,经等离子处理的基片比未经等离子体处理的基片镀膜后损耗平均降低34.2ppm,并且显示出良好的一致性.
陈勇张晋宽王宇
关键词：超光滑表面等离子体表面处理表面粗糙度
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共1页<1>
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