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国防科技重点实验室基金(9140C060203060C0603)
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一种高性能InP基谐振隧穿二极管的研制
2007年
设计并用分子束外延技术生长了InP基InGaAs/AlAs体系RTD材料,采用传统湿法腐蚀、光学接触式光刻、金属剥离、台面隔离和空气桥互连工艺,研制出了具有优良负阻特性和较高阻性截止频率的InP基RTD单管.器件正向PVCR为17.5,反向PVCR为28,峰值电流密度为56kA/cm2,采用RNC电路模型进行数据拟合后得到阻性截止频率为82.8GHz.实验为今后更高性能RTD单管的研制,以及RTD与其他高速高频三端器件单片集成电路的设计与研制奠定了基础.
齐海涛
冯震
李亚丽
张雄文
商耀辉
郭维廉
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谐振隧穿二极管
INP
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