教育部重点实验室开放基金(201215)
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- 相关机构：北京师范大学西南大学西北工业大学更多>>
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- 离子束改性先进陶瓷薄膜结构与力学性能的研究现状
- 2014年
- 离子束改性技术在先进陶瓷材料方面的应用效果突出。在阐述离子束改性原理的基础上,综述了该技术在先进陶瓷薄膜材料微观结构与组织,力学性能和摩擦学性能方面的应用。离子束改性是一种高能高效的掺杂改性手段,在辅助制备高质量薄膜、改善薄膜力学和摩擦力学方面有着显著的优势。深入了解离子束与薄膜原子的作用机制,精确调配薄膜的微观结构和组成,降低成膜质量的不确定性,是未来离子束改性先进陶瓷薄膜的研究重点。
- 孙佳覃礼钊张旭吴正龙王浩琦程南璞
- 关键词：先进陶瓷陶瓷薄膜力学性能
- 低能C离子注入单晶硅机械和摩擦学性能
- 2013年
- 采用MEVVA源将低能量(40 keV)C离子注入单晶硅,用Raman光谱和SEM对试样进行了表征,用纳米压痕仪和球-盘式摩擦磨损试验机分别测试了试样硬度、弹性模量和摩擦因数。结果显示,低剂量下,试样硬度基本保持不变,而弹性模量增加;当C离子注入剂量为2×1016cm-2时,样品出现明显非晶化,硬度开始下降。注样表面摩擦因数升高,这是由于C离子注入引起的表面损伤所致。
- 孙佳覃礼钊廖斌吴晓玲吴正龙梁宏林华程南璞
- 关键词：单晶硅
