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国家自然科学基金(60877066)

作品数:5 被引量:12H指数:2
相关作者:吴亚明徐静钟少龙翟雷应刘英明更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇体硅
  • 2篇体硅工艺
  • 2篇微光机电系统
  • 2篇光机
  • 2篇光机电
  • 2篇硅工艺
  • 1篇占空比
  • 1篇扫描镜
  • 1篇平行平板
  • 1篇静电驱动
  • 1篇高占空比
  • 1篇各向异性
  • 1篇各向异性腐蚀
  • 1篇光纤
  • 1篇光纤传感
  • 1篇光纤传感器
  • 1篇感器
  • 1篇
  • 1篇ARRAY
  • 1篇BASED_...

机构

  • 4篇中国科学院
  • 3篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 4篇吴亚明
  • 3篇徐静
  • 2篇钟少龙
  • 2篇翟雷应
  • 1篇李四华
  • 1篇黄占喜
  • 1篇龙亮
  • 1篇刘英明

传媒

  • 2篇光学精密工程
  • 1篇光电子.激光
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇Chines...

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 3篇2011
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
Wavelength-selective switch based on a high fill-factor micromirror array
2011年
A novel design and fabrication approach for a high fill-factor micro-electro-mechanical system (MEMS) micromirror array-based wavelength-selective switch (WSS) is presented. The WSS is composed of a polarization-independent transmission grating and a high fill-factor micromirror array. The WSS is successfully demonstrated based on the fabricated high fill-factor micromirror array. Test results show that the polarization-dependent loss (PDL) is less than 0.3 dB and that the insertion loss (IL) of the wavelength channel is about -6 dB. The switching function between the two output ports of WSS is measured. The forward switching time is recorded to be about 0.5 ms, whereas the backward switching time is about 7 ms.
李四华万助军徐靜钟少龙吴亚明
三维掩膜硅各向异性腐蚀工艺释放微悬空结构被引量:1
2011年
提出了一种新颖的基于三维掩膜的硅各向异性腐蚀工艺,即利用深反应离子刻蚀、湿法腐蚀等常规体硅刻蚀工艺和氧化、化学气相沉积(CVD)等薄膜工艺制作出具有三维结构的氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜,以该三维薄膜作为掩膜进行各向异性腐蚀,该工艺可以应用于MEMS微悬空结构的制作。利用该工艺成功地在单片n-Si(100)衬底上完成了一种十字梁结构的释放,并对腐蚀的过程和工艺参数进行了研究。
黄占喜吴亚明
关键词:体硅工艺各向异性腐蚀
垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜被引量:5
2013年
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3mm×2mm,谐振频率为1.32kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面,其表面粗糙度的均方根只有8.64nm;扫描镜在驱动电压为95V时可以实现最大2.4°的扭转角度;测得其开启时的响应时间为1.887ms,关断时的响应时间为4.418ms。
刘英明徐静钟少龙翟雷应吴亚明
关键词:体硅工艺
基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器被引量:2
2012年
设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术,驱动硅微反射镜沿其法线方向的垂直平移运动以实现入射光波的光相位调制。MEMS静电微镜驱动器与光纤准直器耦合构成MEMS光纤相位调制器,避免了拉伸光纤或改变折射率的困难,具有MEMS技术批量制造、低成本等优势。采用MEMS工艺成功制作出MEMS光纤相位调制器,并实现Michelson光纤干涉仪。利用ASE宽带光源对光纤相位调制器的静态调制特性进行测试,采用Michelson光纤干涉仪对光纤相位调制器的动态调制特性进行测试,结果表明,MEMS光纤相位调制器50V偏压实现了1 550nm光波的2π相位调制,当器件谐振频率为7.15kHz以及交、直流电压幅值分别为12.5V时,响应幅值可达6.8μm,可以实现多个2π的相位的正弦调制。
翟雷应徐静吴亚明刘闯雷洪波陶大勇
关键词:MEMS光纤传感器
多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制被引量:5
2011年
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列,获得了微镜面尺寸达到600μm×200μm,包含52个微镜面排布,占空比高达97%的微镜阵列。测试表明,制作的微镜面结构在驱动电压为164 V时可以实现最大1.1°的扭转角度,相对于传统的平行平板静电驱动结构大大降低了驱动电压。
李四华徐静龙亮钟少龙吴亚明
关键词:微光机电系统平行平板静电驱动高占空比
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