国家自然科学基金(21102157)
- 作品数：2 被引量：16H指数：2
- 相关作者：卓尚军刘洁钱荣何品刚田梅更多>>
- 相关机构：中国科学院华东师范大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家创新方法工作专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 直流辉光放电质谱法测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子被引量：14
- 2012年
- 采用直流辉光放电质谱(dc-GD-MS)测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子(RSF)。标样制作过程中主要是在连续通入氩气条件下将固定量的非标准多晶硅样品熔化,向硅熔体中均匀掺入浓度范围为1～30μg/g的关键杂质元素(如B和P),采用快速固化法制成标样;再将制成的标准样品加工成一系列适合GD-MS扁平池(Flat Cell)的片状样品(20 mm×20 mm×2 mm)。采用二次离子质谱法(SI-MS)对标准样品中关键掺杂元素进行多次定量测定,取平均值作为关键杂质元素的精确含量。优化一系列质谱条件后,运用GD-MS对标样中关键掺杂元素的离子强度进行多次测定,计算平均结果,得到未校正的表观浓度,利用标准曲线法计算出关键杂质元素的相对灵敏度因子。
- 刘洁钱荣斯琴毕力格卓尚军何品刚
- 关键词：多晶硅
- 双铂网雾化和超声雾化进样系统对ICP-AES分析性能的影响被引量：2
- 2012年
- 从元素检出限、基体效应、ICP稳健性及记忆效应方面实验研究了双铂网雾化与超声雾化两种进样方式对ICP-AES分析性能的影响。结果表明,在超声雾化进样条件下,Cu,Pb,Zn,Cr,Cd,Ni的检出限较双铂网雾化的检出限降低了6～23倍;在基体效应方面,超声雾化进样时基体对元素原子及离子谱线强度的影响均较双铂网雾化系统明显,元素谱线增强/减弱的幅度受元素谱线、基体组成和浓度的影响;Ca和Mg基体对谱线强度的影响强于K和Na基体;离子谱线受基体的影响明显强于原子谱线。超声雾化系统进样时ICP的稳健性要劣于双铂网雾化系统,而且超声雾化系统的记忆效应较双铂网雾化器严重。
- 田梅韩小元卓尚军张瑞荣
- 关键词：超声雾化ICP-AES
