中国科学院光束控制重点实验室基金(20090813AOP-08)
- 作品数：1 被引量：11H指数：1
- 相关作者：谭毅任戈吴时彬杨伟汪利华更多>>
- 相关机构：中国科学院更多>>
- 发文基金：中国科学院光束控制重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法被引量：11
- 2012年
- 为了实现大口径光学系统波前子孔径拼接干涉测量,保证子孔径采样数据准确定位,提出了子孔径拼接定位补偿算法。介绍了该算法原理,分析了该算法子孔径定位误差补偿能力。首先根据被检光学系统和子孔径口径大小规划出采样子孔径布局,在子孔径采样装置机械精度误差范围内对子孔径进行拼接,根据所求子孔径定位误差补偿系数和调整误差系数,得到被检全孔径波前,完成大口径光学系统波前的拼接检测。通过仿真验证了该算法的可行性,在机械平移定位精度为1mm和转动角定位精度为0.5°时,用该算法实验检测口径为200mm的光学系统平面波前。检测结果表明该算法稳定可靠,能有效补偿机械精度引起的子孔径定位误差,从而可放宽对机械定位精度的要求。
- 汪利华吴时彬任戈谭毅杨伟
- 关键词：子孔径拼接光学测量
