国家自然科学基金(50875258)
- 作品数：3 被引量：28H指数：2
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- 双波长单光栅纳米测量中激光器性能非理想的影响被引量：2
- 2011年
- 阐述了双波长单光栅式大量程纳米级位移测量系统的基本原理,并对系统具有的量程大、精度高、稳定性好等特点进行了介绍。由于系统进行的是高精度纳米级的位移测量,必须考虑各种不利因素造成的误差影响,主要分析讨论了双频激光器性能非理想所造成的误差,包括波长不稳定造成的线性误差及椭圆极化偏振所造成的非线性误差。并在理论建模的基础上,导出了相应的误差表达式。最后通过仿真计算,指出波长不稳定造成的线性误差的极限值为2 nm,在非正交角为1.1°,渥拉斯顿棱镜的透过率Tx、Ty分别为0.85、1时,椭圆极化偏振所造成的非线性误差极值达到1.54 nm,并选取不同的非正交角及Tx、Ty对误差变化规律进行了研究分析。
- 王国超颜树华周卫红牛正一谢学东
- 关键词：光栅外差干涉
- 一种小型化纳米级单光栅位移测量系统的研制被引量：8
- 2013年
- 随着纳米技术的广泛应用以及人们对纳米位移测量认识的不断深化,光栅位移测量技术正在受到广泛的关注。在研究反射式光栅位移测量原理的基础上,设计并实现了一种小型化纳米级单光栅位移测量系统,对系统总体设计、光路布局以及软件算法进行了阐述,最后,利用电容位移传感器ASP-10-ILA等辅助仪器进行了对比实验。实验结果表明:在两路信号不完全正交的情况下系统也能实现准确测量,且理论上系统的位移测量分辨率达到1 nm;在电容位移传感器的量程范围内进行小位移对比试验,系统测量均值与参考值最大偏差118 nm,且与拟合直线偏差均小于100 nm;当光栅发生10 mm以上的较大位移时,测量结果与均值的偏差均小于5 ppm。
- 杨东兴颜树华杜列波王国超林存宝邹鹏飞
- 关键词：光栅常数正交信号
- 光栅干涉位移测量技术发展综述被引量：19
- 2010年
- 介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处。同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力。在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向。
- 王国超颜树华高雷谢学东田震
- 关键词：光栅干涉条纹
