河南省基础与前沿技术研究计划项目(132300410241)
- 作品数：5 被引量：27H指数：4
- 相关作者：蒋志强魏永强文振华田修波刘建伟更多>>
- 相关机构：郑州航空工业管理学院哈尔滨工业大学郑州信息科技职业学院更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金河南省基础与前沿技术研究计划项目河南省高校科技创新团队支持计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 调制周期对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和摩擦性能的影响被引量：3
- 2014年
- 采用电弧离子镀方法制备了TiN/TiAlN多层薄膜,研究了调制周期对薄膜多层结构和摩擦磨损性能的影响。结果表明:在相同的沉积时间内,随调制周期的增加,多层薄膜的层数减少,每一层的厚度增加,层与层之间的区分更加清晰。摩擦磨损测试结果表明:由于多层薄膜的调制结构,引起薄膜对磨层的变化,当多层薄膜的调制周期为54 nm时,多层薄膜的摩擦系数最小;当调制周期为112 nm时,多层薄膜的摩擦系数最高;当调制周期为164 nm时,多层薄膜的磨痕宽度最小。在摩擦磨损过程中,GCr15钢球的磨损面一直处于快速磨损阶段,对磨痕能谱线扫描结果发现磨屑的主要成分是Fe和FeOx。
- 魏永强刘建伟文振华蒋志强
- 关键词：电弧离子镀调制周期
- 大颗粒缺陷在电弧离子镀所制备薄膜中的分布状态研究被引量：7
- 2013年
- 针对电弧离子镀制备薄膜产生的大颗粒问题,本文主要研究了大颗粒在薄膜中的分布状态。根据大颗粒尺寸和薄膜厚度之间的比例关系,将其划分为三种类型:表面缺位型、镶嵌型和完全贯穿型,其中镶嵌型又划分为表面镶嵌型、中间镶嵌型、镶嵌生长型和重叠镶嵌型等四种类型,并对其形成原因分别进行了分析。
- 魏永强文振华蒋志强田修波
- 关键词：电弧离子镀大颗粒
- 脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响被引量：11
- 2014年
- 目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律。结果 TiN/TiAlN多层薄膜表面出现了电弧离子镀制备薄膜的典型生长形貌,随着脉冲偏压占空比的增加,薄膜表面的大颗粒数目明显减少。此外,脉冲偏压占空比的增加还引起多层薄膜中Al/Ti原子比的降低。结论 TiN/TiAlN多层薄膜主要以(111)晶面择优取向生长,此外还含有(311),(222)和(200)晶相结构。5种多层薄膜的纳米硬度均在33GPa以上,当脉冲偏压占空比为20%时,可实现超硬薄膜的制备。
- 魏永强张艳霞文振华蒋志强冯宪章
- 关键词：TINTIALN电弧离子镀微观结构
- 基体放置状态与脉冲偏压幅值对大颗粒形貌和分布的影响被引量：4
- 2014年
- 利用电弧离子镀方法制备了TiN薄膜,研究了脉冲偏压幅值和试样放置状态对Ti大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌,利用Image J科学图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在不施加脉冲偏压时,随着试样表面与靶表面放置方向从平行到垂直,大颗粒数目迅速由4964降低到3032,所占薄膜的面积比从12.1%减少到4.7%;而在相同的放置方向下,发现静止状态下的薄膜表面大颗粒数目较少,尺寸也较小,而转动状态下大颗粒形貌差别较大,尺寸和所占的面积比较大。随着脉冲偏压幅值的增加,在各个放置状态下大颗粒都出现了先减小后增加的趋势,当幅值在-400 V时,薄膜表面大颗粒所占的面积比都达到最小值。
- 魏永强魏永辉蒋志强田修波
- 关键词：电弧离子镀TIN大颗粒
- 脉冲偏压占空比和放置状态对大颗粒分布规律的影响被引量：6
- 2015年
- 利用电弧离子镀方法在201不锈钢基体上制备了Ti N薄膜,研究了脉冲偏压占空比和基体放置状态对大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电镜观察了Ti N薄膜的表面形貌,利用Image J图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在工艺参数相同情况下,转动时Ti N薄膜表面的大颗粒数目较多;随脉冲偏压占空比的增大,薄膜表面的大颗粒数目迅速降低,当占空比为40%时,大颗粒所占的面积比达到最小值,分别为静止时的1.9%和转动时的6.8%,为最佳的占空比值。
- 魏永强刘建伟文振华蒋志强田修波
- 关键词：电弧离子镀TIN脉冲偏压大颗粒占空比
