浙江省科技攻关计划(2008C21055)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 相关作者：郑贺孙丽丽汪爱英张栋更多>>
- 相关机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所更多>>
- 发文基金：浙江省重大科技专项基金浙江省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 直流反应磁控溅射CrN_X功能装饰涂层的研究被引量：1
- 2010年
- 采用反应磁控溅射制备不同氮气流量下的CrNX膜,观察薄膜颜色的变化,采用球盘式摩擦磨损仪、台阶仪、金相显微镜测试薄膜的耐磨性能,并采用X射线衍射技术、场发射扫描电镜观测薄膜的相成份以及微观形貌。研究结果表明,随着氮气含量的增加,薄膜颜色由银灰色逐渐过渡为深灰色,薄膜相结构由单相Cr2N转变为Cr2N和CrN混合相继而转变为单相CrN,当氮气流量为20cm3·min-1以及30cm3·min-1时薄膜表现出良好的耐磨性。采用高氮气流量的工艺镀中间层,低氮气流量的工艺镀表面层,复合薄膜的耐磨性大幅度提高,同时能够获得美观的银灰色外观。
- 张栋孙丽丽郑贺汪爱英
- 关键词：反应磁控溅射耐磨性
- W-DLC纳米复合薄膜的制备、微结构和物性研究
- 金属掺杂DLC(Me-DLC)纳米复合薄膜是一种由三维无定型碳网络主相结构和镶嵌在其中的纳米尺寸金属(金属碳化物)团簇辅相组成的新型薄膜材料,因其在增强传统DLC薄膜的膜基结合力、摩擦学/热学稳定性、改善电学特性等方面具...
- 汪爱英Kwang-Ryeol Lee
- 文献传递
