浙江省自然科学基金(Y108685)
- 作品数：3 被引量：13H指数：3
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- 相关机构：浙江工业大学丽水学院湖南大学更多>>
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 石英晶片加工现状与发展被引量：4
- 2011年
- 介绍了石英晶片加工现状、存在的主要问题,影响石英晶片加工的因素以及发展趋势。对于石英晶体精密加工而言,为了解决划痕、裂纹等表面损伤和提高研磨效率这一矛盾,提出利用半固着磨具加工石英晶片的新型抛光技术,有效地避免硬质大颗粒造成的表面损伤,提高整体加工效率。
- 赵文宏赵蓉邓乾发杨碧波袁巨龙
- 关键词：石英晶体半固着磨具
- 晶片抛光机压力加载系统分析被引量：5
- 2012年
- 在晶体薄片的双面抛光加工中,实现抛光压力的精确、多模式控制对获得晶片高平面度和无损伤、超平滑的加工质量至关重要。为此,提出了一种基于步进电机的压力加载系统。在简述压力加载系统组成及原理的基础上,对该压力加载系统进行了整体数学建模,并通过Simulink对系统性能进行了仿真分析;最后对石英晶片进行了加工实验。实验结果初步验证了所设计的抛光压力加载系统可以较好地实现抛光压力的动态加载及平稳保持,并获得了平滑的晶片抛光表面。
- 赵文宏周海军宋闯程城远徐乐俊袁巨龙
- 关键词：步进电机数学建模
- 精密球体研磨机压力控制系统设计被引量：4
- 2011年
- 为解决传统自适应压力控制和PID压力控制下精密磨球机在磨球时出现的诸如响应时间长,控制精度不够高、机械振动过大等问题,将模糊控制技术应用到磨球机的压力控制中。开展了系统输入变量E、EC和输出变量SV模糊化分析,建立了3个模糊变量之间的关系,提出了基于DSP芯片的压力模糊控制方法,在Matlab软件的Simulink平台上对模糊控制系统性能进行了评价,并进行了在该模糊系统控制下的偏心和双自转式球体研磨加工试验。试验结果表明,该系统实现了快速响应,并且减少了系统振动,提高了压力控制的精度和球体研磨的效率。
- 赵文宏楼一兵赵蓉杨碧波
- 关键词：系统设计模糊控制SIMULINK
