山东省自然科学基金(ZR2011EMQ005)
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 相关作者：吴海涛陈相逢孙斌李娟潘菲更多>>
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- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 国产苏州瑞红RZJ304光刻正胶应用工艺研究
- 2012年
- 本文以国产瑞红RZJ304正胶为载体,基于光刻工艺环节中各工艺参数要求,以线宽1、2、5微米的叉指电极为标准,重点研究各工艺参数如曝光强度、曝光时间以及显影时间等关键因素对光刻效果的影响程度;以此表征该类型光刻胶良好的光刻效果,为后续实际器件加工与应用奠定基础。
- 陈相逢李娟冯婷婷吴海涛
- 关键词：光刻工艺正胶叉指电极
- 陶瓷基单层电容器(SLC)阵列设计与加工工艺实验研究
- 2012年
- 本文以SLC单层电容应用背景为前提,以介质陶瓷研究为衬底,采用半导体制造工艺技术探索陶瓷基SLC的制备工艺。首先利用专业软件L-EDIT进行设计掩模版图形,完成SLC单层电容所需掩模版加工制作;然后充分探索SLC制备环节中光刻工艺关键技术与参数,摸索出光刻环节线宽精度到1μm的工艺过程最后探索磁控溅射技术各项参数,调整工艺,制备出与掩模版图形设计相符合的SLC单层电容阵列。
- 孙斌潘菲吴海涛
- 关键词：光刻工艺磁控溅射介质陶瓷
