吉林省自然科学基金(201115134)
- 作品数:3 被引量:11H指数:2
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- γ'-(Fe_(1-x)Ni_x)_4N薄膜结构及其磁学性能
- 2012年
- 采用直流磁控溅射方法,在Si(100)单晶衬底上制备不同质量分数Ni掺杂的γ'-(Fe1-xNix)4N纳米晶薄膜样品,并利用能谱分析、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和振动样品磁强计(VSM)测试分析样品中Fe与Ni的原子比、结构、形貌及磁学性能.结果表明,在样品中掺杂Ni可提高材料的结构稳定性,优化材料的软铁磁性能.
- 王丽丽安涛郑伟涛
- 关键词:纳米晶磁性
- TiN薄膜在纳米压痕和纳米划痕下的断裂行为被引量:8
- 2013年
- 利用磁控溅射方法在Si(111)衬底上制备了具有(111)和(222)择优取向的TiN薄膜.用纳米压痕和纳米划痕方法研究了该薄膜的变形和断裂行为.用扫描电子显微镜、纳米压痕原位原子力显微镜及原位光学显微镜并结合加-卸载曲线及划痕曲线获得了薄膜发生变形和断裂的微观信息.在压痕试验中,TiN薄膜在压入深度为200nm时表现为塑性变形及压痕周围的局部断裂,随着压入深度的增大,塑性变形和局部断裂变得越显著,当最大压入深度达到临界值1000nm时,薄膜和衬底间发生了界面断裂.在划痕实验中,100mN及200mN的最大载荷均可以引起界面断裂.最大为200mN的载荷使得薄膜发生界面断裂的位置比用100mN载荷时的位置提前,但其临界断裂载荷和100mN时及压痕实验时的临界界面断裂载荷基本相同.
- 安涛文懋田宏伟王丽丽宋立军郑伟涛
- 关键词:TIN薄膜纳米压痕纳米划痕
- Fe_3N纳米晶薄膜退火过程的结构演变及其磁性被引量:3
- 2013年
- 采用直流磁控溅射方法,在氮气分压为10%的条件下获得了单相纳米晶ε-Fe3N磁性薄膜,先将薄膜样品在真空中分别于500,600,700,800℃退火,再利用X射线衍射(XRD)和振动样品磁强计(VSM)表征不同退火温度样品的结构和磁学性能.结果表明:ε-Fe3N样品在小于600℃可保持结构稳定;在退火过程中,ε-Fe3N薄膜的比饱和磁化强度变化较小;矫顽力先减小后增加;经过500℃退火的ε-Fe3N样品软磁性能最佳.
- 王丽丽闫岩安涛卢歆谭芳王立杰邹林
- 关键词:晶格畸变磁性